Material - keramika

♦ Alumina (Al2O3)

ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) tomonidan ishlab chiqarilgan nozik keramika qismlari yuqori toza seramika xom ashyosi, 92 ~ 97% alumina, 99,5% alumina,> 99,9% alumina va CIP sovuq izostatik presslashdan tayyorlanishi mumkin.Yuqori haroratli sinterlash va nozik ishlov berish, ± 0,001 mm o'lchamli aniqlik, Ra0,1 gacha silliqlik, 1600 darajagacha foydalanish harorati.Mijozlarning talablariga muvofiq turli xil rangdagi keramika tayyorlanishi mumkin, masalan: qora, oq, bej, to'q qizil va boshqalar. Kompaniyamiz tomonidan ishlab chiqarilgan nozik keramika qismlari yuqori haroratga, korroziyaga, aşınmaya va izolyatsiyaga chidamli bo'lib, yuqori harorat, vakuum va korroziy gaz muhitida uzoq vaqt davomida ishlatiladi.

Har xil yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida keng qo'llaniladi: ramkalar (keramika qavs), substrat (taglik), qo'l / ko'prik (manipulyator), mexanik komponentlar va keramik havo rulmanlari.

AL2O3

Mahsulot nomi Yuqori tozalikdagi 99 alumina keramik kvadrat quvur / quvur / rod
Indeks Birlik 85% Al2O3 95% Al2O3 99% Al2O3 99,5 % Al2O3
Zichlik g/sm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Suvni singdirish % <0,1 <0,1 0 0
Sinterlangan harorat 1620 1650 1800 1800
Qattiqlik Mohs 7 9 9 9
Bükme kuchi (20 ℃)) Mpa 200 300 340 360
Siqilish kuchi Kgf/sm2 10000 25000 30 000 30 000
Uzoq muddatli ish harorati 1350 1400 1600 1650
Maks.Ishlash harorati 1450 1600 1800 1800
Ovoz qarshiligi 20℃ Ō.sm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ >109 >1010 >1012 >1012

Yuqori tozalikdagi alumina keramikasidan foydalanish:
1. Yarimo'tkazgichli uskunalarga qo'llaniladi: keramik vakuum chuck, chiqib ketish diski, tozalash diski, seramika CHUCK.
2. Gofretni o'tkazish qismlari: gofret bilan ishlov berish chucks, gofretni kesish disklari, gofretni tozalash disklari, gofret optik tekshiruvi so'rg'ichlari.
3. LED / LCD tekis panelli displey sanoati: seramika ko'krak, seramika silliqlash diski, LIFT PIN, PIN ray.
4. Optik aloqa, quyosh sanoati: keramik quvurlar, sopol novdalar, elektron platalar ekranli bosma keramik qirg'ichlar.
5. Issiqlikka chidamli va elektr izolyatsiyalovchi qismlar: keramik podshipniklar.
Hozirgi vaqtda alyuminiy oksidli keramika yuqori toza va umumiy keramikalarga bo'linishi mumkin.Yuqori toza alyuminiy oksidli keramika seriyasi 99,9% dan ortiq Al₂O₃ o'z ichiga olgan keramika materialiga ishora qiladi.Sinterlash harorati 1650 - 1990 ° C gacha va to'lqin uzunligi 1 ~ 6 mkm bo'lganligi sababli, u odatda platina tigel o'rniga eritilgan shishaga qayta ishlanadi: yorug'lik o'tkazuvchanligi va korroziyaga chidamliligi tufayli natriy naychasi sifatida ishlatilishi mumkin. gidroksidi metall.Elektron sanoatida u IC substratlari uchun yuqori chastotali izolyatsion material sifatida ishlatilishi mumkin.Alyuminiy oksidining turli tarkibiga ko'ra, umumiy alyuminiy oksidi seramika seriyasini 99 ta keramika, 95 ta keramika, 90 ta keramika va 85 ta keramikaga bo'lish mumkin.Ba'zida 80% yoki 75% alyuminiy oksidi bo'lgan keramika ham umumiy alyuminiy oksidi seramika seriyasi sifatida tasniflanadi.Ular orasida 99 alyuminiy oksidli keramik material yuqori haroratli tigel, yong'inga chidamli o'choq trubkasi va keramik podshipniklar, keramik muhrlar va valf plitalari kabi maxsus aşınmaya bardoshli materiallarni ishlab chiqarish uchun ishlatiladi.95 alyuminiy keramika asosan korroziyaga chidamli aşınmaya bardoshli qism sifatida ishlatiladi.85 keramika ko'pincha ba'zi xususiyatlarda aralashtiriladi va shu bilan elektr ishlashi va mexanik kuchini yaxshilaydi.U molibden, niobiy, tantal va boshqa metall muhrlardan foydalanishi mumkin, ba'zilari esa elektr vakuum qurilmalari sifatida ishlatiladi.

 

Sifat elementi (vakillik qiymati) Mahsulot nomi AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Kimyoviy tarkibi past natriyli oson sinterlash mahsuloti H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Qotib kuldim % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
O'rta zarrachalar diametri (MT-3300, lazer tahlil usuli) mkm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
a Kristal o'lchami mkm 0.3 0.3 0.3 0.3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Shakllanish zichligi** g/sm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Sinterlash zichligi** g/sm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Sinterlash liniyasining qisqarish tezligi** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO Al₂O₃ tozaligi hisobiga kiritilmagan.
* Tozalash kukuni yo'q 29,4MPa (300kg/sm²), sinterlash harorati 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: 0,05 ~ 0,1% MgO qo'shing, sinterlash qobiliyati juda yaxshi, shuning uchun u 99% dan ortiq tozaligi bilan alyuminiy oksidli keramika uchun qo'llaniladi.
AES-22S: Yuqori shakllanish zichligi va sinterlash liniyasining past qisqarish tezligi bilan tavsiflanadi, u to'g'ridan-to'g'ri to'qimalarni quyish va kerakli o'lchov aniqligiga ega bo'lgan boshqa yirik mahsulotlar uchun qo'llaniladi.
AES-23 / AES-31-03: AES-22S ga qaraganda yuqori hosil qiluvchi zichlik, tiksotropiya va past yopishqoqlikka ega.birinchisi keramika uchun ishlatiladi, ikkinchisi esa yong'inga qarshi materiallar uchun suv reduktori sifatida ishlatiladi va mashhurlikka erishadi.

♦Kremniy karbid (SiC) xususiyatlari

Umumiy xususiyatlar Asosiy komponentlarning tozaligi (og'irligi%) 97
Rang Qora
Zichlik (g/sm³) 3.1
Suvni yutish (%) 0
Mexanik xususiyatlar Bukilish kuchi (MPa) 400
Yosh modul (GPa) 400
Vickers qattiqligi (GPa) 20
Issiqlik xususiyatlari Maksimal ish harorati (°C) 1600
Termal kengayish koeffitsienti RT~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT~800°C 4.3
Issiqlik o'tkazuvchanligi (Vt/m x K) 130 110
Termal zarba qarshiligi DET (°C) 300
Elektr xususiyatlari Ovoz qarshiligi 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
Dielektrik doimiy 10 gigagertsli -
Dielektrik yo'qotish (x 10-4) -
Q faktor (x 104) -
Dielektrik parchalanish kuchlanishi (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Kremniy nitridi keramika

Material Birlik Si₃N₄
Sinterlash usuli - Sinterlangan gaz bosimi
Zichlik g/sm³ 3.22
Rang - Toʻq kulrang
Suvni yutish darajasi % 0
Yosh modul Gpa 290
Vickers qattiqligi Gpa 18 - 20
Siqilish kuchi Mpa 2200
Bükme kuchi Mpa 650
Issiqlik o'tkazuvchanligi Vt/mK 25
Termal zarba qarshiligi D (°C) 450 - 650
Maksimal ish harorati °C 1200
Ovoz qarshiligi Ō·sm > 10 ^ 14
Dielektrik doimiy - 8.2
Dielektrik kuch kV/mm 16