♦ Alumina (Al2O3)
ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) tomonidan ishlab chiqarilgan nozik keramika qismlari yuqori toza seramika xom ashyosi, 92 ~ 97% alumina, 99,5% alumina,> 99,9% alumina va CIP sovuq izostatik presslashdan tayyorlanishi mumkin.Yuqori haroratli sinterlash va nozik ishlov berish, ± 0,001 mm o'lchamli aniqlik, Ra0,1 gacha silliqlik, 1600 darajagacha foydalanish harorati.Mijozlarning talablariga muvofiq turli xil rangdagi keramika tayyorlanishi mumkin, masalan: qora, oq, bej, to'q qizil va boshqalar. Kompaniyamiz tomonidan ishlab chiqarilgan nozik keramika qismlari yuqori haroratga, korroziyaga, aşınmaya va izolyatsiyaga chidamli bo'lib, yuqori harorat, vakuum va korroziy gaz muhitida uzoq vaqt davomida ishlatiladi.
Har xil yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida keng qo'llaniladi: ramkalar (keramika qavs), substrat (taglik), qo'l / ko'prik (manipulyator), mexanik komponentlar va keramik havo rulmanlari.
| Mahsulot nomi | Yuqori tozalikdagi 99 alumina keramik kvadrat quvur / quvur / rod | |||||
| Indeks | Birlik | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
| Zichlik | g/sm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Suvni singdirish | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Sinterlangan harorat | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Qattiqlik | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Bükme kuchi (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Siqilish kuchi | Kgf/sm2 | 10000 | 25000 | 30 000 | 30 000 | |
| Uzoq muddatli ish harorati | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Maks.Ishlash harorati | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Ovoz qarshiligi | 20℃ | Ō.sm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Yuqori tozalikdagi alumina keramikasidan foydalanish:
1. Yarimo'tkazgichli uskunalarga qo'llaniladi: keramik vakuum chuck, chiqib ketish diski, tozalash diski, seramika CHUCK.
2. Gofretni o'tkazish qismlari: gofret bilan ishlov berish chucks, gofret kesish disklari, gofret tozalash disklari, gofret optik tekshiruvi assimilyatsiya stakanlari.
3. LED / LCD tekis panelli displey sanoati: seramika ko'krak, seramika silliqlash diski, LIFT PIN, PIN ray.
4. Optik aloqa, quyosh sanoati: keramik quvurlar, sopol novdalar, elektron platalar ekranli bosma keramik qirg'ichlar.
5. Issiqlikka chidamli va elektr izolyatsiyalovchi qismlar: keramik podshipniklar.
Hozirgi vaqtda alyuminiy oksidli keramika yuqori toza va umumiy keramikalarga bo'linishi mumkin.Yuqori toza alyuminiy oksidli keramika seriyasi 99,9% dan ortiq Al₂O₃ o'z ichiga olgan keramika materialiga ishora qiladi.Sinterlash harorati 1650 - 1990 ° C gacha va to'lqin uzunligi 1 ~ 6 mkm bo'lganligi sababli, u odatda platina tigel o'rniga eritilgan shishaga qayta ishlanadi: yorug'lik o'tkazuvchanligi va korroziyaga chidamliligi tufayli natriy naychasi sifatida ishlatilishi mumkin. gidroksidi metall.Elektron sanoatida u IC substratlari uchun yuqori chastotali izolyatsion material sifatida ishlatilishi mumkin.Alyuminiy oksidining turli tarkibiga ko'ra, umumiy alyuminiy oksidi seramika seriyasini 99 ta keramika, 95 ta keramika, 90 ta keramika va 85 ta keramikaga bo'lish mumkin.Ba'zida 80% yoki 75% alyuminiy oksidi bo'lgan keramika ham umumiy alyuminiy oksidi seramika seriyasi sifatida tasniflanadi.Ular orasida 99 alyuminiy oksidli keramik material yuqori haroratli tigel, yong'inga chidamli o'choq trubkasi va keramik podshipniklar, keramik muhrlar va valf plitalari kabi maxsus aşınmaya bardoshli materiallarni ishlab chiqarish uchun ishlatiladi.95 alyuminiy keramika asosan korroziyaga chidamli aşınmaya bardoshli qism sifatida ishlatiladi.85 keramika ko'pincha ba'zi xususiyatlarda aralashtiriladi va shu bilan elektr ishlashi va mexanik kuchini yaxshilaydi.U molibden, niobiy, tantal va boshqa metall muhrlardan foydalanishi mumkin, ba'zilari esa elektr vakuum qurilmalari sifatida ishlatiladi.
| Sifat elementi (vakillik qiymati) | Mahsulot nomi | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Kimyoviy tarkibi past natriyli oson sinterlash mahsuloti | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Qotib kuldim | % | 0.1 | 0,2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| O'rtacha zarrachalar diametri (MT-3300, lazer tahlil usuli) | mkm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| a Kristal o'lchami | mkm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Shakllanish zichligi** | g/sm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Sinterlash zichligi** | g/sm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Sinterlash liniyasining qisqarish tezligi** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO Al₂O₃ tozaligi hisobiga kiritilmagan.
* Tozalash kukuni yo'q 29,4MPa (300kg/sm²), sinterlash harorati 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: 0,05 ~ 0,1% MgO qo'shing, sinterlash qobiliyati juda yaxshi, shuning uchun u 99% dan ortiq tozaligi bilan alyuminiy oksidli keramika uchun qo'llaniladi.
AES-22S: Yuqori shakllanish zichligi va sinterlash liniyasining past qisqarish tezligi bilan tavsiflanadi, u to'g'ridan-to'g'ri to'qimalarni quyish va kerakli o'lchov aniqligiga ega bo'lgan boshqa yirik mahsulotlar uchun qo'llaniladi.
AES-23 / AES-31-03: AES-22S ga qaraganda yuqori hosil qiluvchi zichlik, tiksotropiya va past yopishqoqlikka ega.birinchisi keramika uchun ishlatiladi, ikkinchisi esa yong'inga qarshi materiallar uchun suv reduktori sifatida ishlatiladi va mashhurlikka erishadi.
♦Kremniy karbid (SiC) xususiyatlari
| Umumiy xususiyatlar | Asosiy komponentlarning tozaligi (og'irligi%) | 97 | |
| Rang | Qora | ||
| Zichlik (g/sm³) | 3.1 | ||
| Suvni yutish (%) | 0 | ||
| Mexanik xususiyatlar | Bukilish kuchi (MPa) | 400 | |
| Yosh modul (GPa) | 400 | ||
| Vickers qattiqligi (GPa) | 20 | ||
| Issiqlik xususiyatlari | Maksimal ish harorati (°C) | 1600 | |
| Termal kengayish koeffitsienti | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| Issiqlik o'tkazuvchanligi (Vt/m x K) | 130 110 | ||
| Termal zarba qarshiligi DET (°C) | 300 | ||
| Elektr xususiyatlari | Ovoz qarshiligi | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Dielektrik doimiy | 10 gigagertsli | - | |
| Dielektrik yo'qotish (x 10-4) | - | ||
| Q faktor (x 104) | - | ||
| Dielektrik parchalanish kuchlanishi (KV/mm) | - | ||
♦Kremniy nitridi keramika
| Material | Birlik | Si₃N₄ |
| Sinterlash usuli | - | Sinterlangan gaz bosimi |
| Zichlik | g/sm³ | 3.22 |
| Rang | - | Toʻq kulrang |
| Suvni yutish darajasi | % | 0 |
| Yosh modul | Gpa | 290 |
| Vickers qattiqligi | Gpa | 18 - 20 |
| Siqilish kuchi | Mpa | 2200 |
| Bükme kuchi | Mpa | 650 |
| Issiqlik o'tkazuvchanligi | Vt/mK | 25 |
| Termal zarba qarshiligi | D (°C) | 450 - 650 |
| Maksimal ish harorati | °C | 1200 |
| Ovoz qarshiligi | Ō·sm | > 10 ^ 14 |
| Dielektrik doimiy | - | 8.2 |
| Dielektrik kuch | kV/mm | 16 |