Chip ishlab chiqarishning asosiy bo'g'ini - gofretni skanerlashda uskunaning aniqligi chip sifatini aniqlaydi. Uskunaning muhim komponenti sifatida granit mashinasi bazasining termal kengayish muammosi katta e'tiborni tortdi.
Granitning termal kengayish koeffitsienti odatda 4 dan 8 × 10⁻⁶/℃ gacha, bu metallar va marmarnikidan ancha past. Bu shuni anglatadiki, harorat o'zgarganda, uning hajmi nisbatan kam o'zgaradi. Ammo shuni ta'kidlash kerakki, past termal kengayish termal kengayish yo'q degani emas. Haddan tashqari harorat tebranishlari ostida, hatto eng kichik kengayish ham gofretni skanerlashning nano o'lchov aniqligiga ta'sir qilishi mumkin.
Gofretni skanerlash jarayonida termal kengayish paydo bo'lishining bir qancha sabablari bor. Dastgohdagi haroratning o'zgarishi, asbob-uskunalar komponentlarining ishlashi natijasida hosil bo'ladigan issiqlik va lazer bilan ishlov berish natijasida yuzaga keladigan bir lahzali yuqori harorat granit asosining "harorat o'zgarishi tufayli kengayishiga va qisqarishiga" olib keladi. Baza issiqlik kengayishiga duchor bo'lgandan so'ng, yo'riqnomaning tekisligi va platformaning tekisligi og'ishi mumkin, natijada gofret stolining noto'g'ri harakat traektoriyasi paydo bo'ladi. Qo'llab-quvvatlovchi optik komponentlar ham siljiydi, bu skanerlash nurining "burilishiga" olib keladi. Uzoq vaqt davomida uzluksiz ishlash ham xatolarni to'playdi, bu esa aniqlikni yomonlashtiradi va yomonlashtiradi.
Lekin tashvishlanmang. Odamlar allaqachon echimlarga ega. Materiallar nuqtai nazaridan, termal kengayish koeffitsienti pastroq bo'lgan granit tomirlari tanlanadi va qarish bilan ishlov beriladi. Haroratni nazorat qilish nuqtai nazaridan, dastgoh harorati 23 ± 0,5 ℃ yoki undan pastroqda aniq nazorat qilinadi va taglik uchun faol issiqlik tarqalish moslamasi ham ishlab chiqariladi. Strukturaviy dizayn nuqtai nazaridan nosimmetrik tuzilmalar va moslashuvchan tayanchlar qabul qilinadi va harorat sensorlari orqali real vaqtda monitoring amalga oshiriladi. Termal deformatsiyadan kelib chiqadigan xatolar algoritmlar bilan dinamik ravishda tuzatiladi.
ASML litografiya mashinalari kabi yuqori darajadagi uskunalar ushbu usullar orqali granit asosining termal kengayish effektini juda kichik diapazonda ushlab turadi va gofretni skanerlash aniqligini nanometr darajasiga etkazish imkonini beradi. Shuning uchun, agar u to'g'ri boshqarilsa, granit bazasi gofretni skanerlash uskunasi uchun ishonchli tanlov bo'lib qoladi.
Xabar berish vaqti: 12-iyun-2025