Chip ishlab chiqarishning asosiy bo'g'ini - gofretni skanerlashda uskunaning aniqligi chip sifatini belgilaydi. Uskunaning muhim tarkibiy qismi sifatida granit mashina bazasining issiqlik kengayishi muammosi katta e'tiborni tortdi.
Granitning issiqlik kengayish koeffitsienti odatda 4 dan 8 × 10⁻⁶/℃ oralig'ida bo'ladi, bu metallar va marmarnikidan ancha past. Bu shuni anglatadiki, harorat o'zgarganda uning hajmi nisbatan kam o'zgaradi. Biroq, shuni ta'kidlash kerakki, past issiqlik kengayishi issiqlik kengayishi yo'q degani emas. Haddan tashqari harorat tebranishlari sharoitida, hatto eng kichik kengayish ham plastinka skanerlashning nanoskalali aniqligiga ta'sir qilishi mumkin.
Plastinkani skanerlash jarayonida issiqlik kengayishining bir nechta sabablari mavjud. Ustaxonadagi harorat o'zgarishi, uskunalar komponentlarining ishlashi natijasida hosil bo'ladigan issiqlik va lazer bilan ishlov berish natijasida yuzaga keladigan bir zumda yuqori harorat granit asosining "harorat o'zgarishi tufayli kengayishi va qisqarishiga" olib keladi. Asos issiqlik kengayishiga uchragandan so'ng, yo'naltiruvchi relsning to'g'riligi va platformaning tekisligi o'zgarishi mumkin, bu esa plita stolining noto'g'ri harakat traektoriyasiga olib keladi. Qo'llab-quvvatlovchi optik komponentlar ham siljiydi, bu esa skanerlash nurining "og'ishiga" olib keladi. Uzoq vaqt davomida uzluksiz ishlash ham xatolarni to'playdi, bu esa aniqlikni tobora yomonlashtiradi.
Lekin xavotir olmang. Odamlar allaqachon yechimlarga ega. Materiallar nuqtai nazaridan, issiqlik kengayish koeffitsienti pastroq bo'lgan granit tomirlar tanlanadi va qarish jarayoniga duchor bo'ladi. Haroratni nazorat qilish nuqtai nazaridan, ustaxona harorati 23±0,5℃ yoki undan ham pastroq darajada aniq boshqariladi va poydevor uchun faol issiqlik tarqatish moslamasi ham ishlab chiqiladi. Strukturaviy dizayn nuqtai nazaridan, simmetrik tuzilmalar va egiluvchan tayanchlar qo'llaniladi va real vaqt rejimida harorat sensorlari orqali monitoring amalga oshiriladi. Issiqlik deformatsiyasi natijasida yuzaga keladigan xatolar algoritmlar tomonidan dinamik ravishda tuzatiladi.
ASML litografiya mashinalari kabi yuqori darajadagi uskunalar ushbu usullar orqali granit asosning issiqlik kengayish effektini juda kichik diapazonda ushlab turadi, bu esa plastinka skanerlash aniqligini nanometr darajasiga yetkazish imkonini beradi. Shuning uchun, agar u to'g'ri boshqarilsa, granit asos plastinka skanerlash uskunalari uchun ishonchli tanlov bo'lib qoladi.
Nashr vaqti: 2025-yil 12-iyun