Granit komponentlari yuqori barqarorligi va chidamliligi tufayli yarimo'tkazgich uskunalarida keng qo'llaniladi. Ular yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonlarining aniqligi va aniqligini saqlash uchun javobgardir. Biroq, granit komponentlarining samaradorligi va ishonchliligi ularni loyihalash, ishlab chiqarish va o'rnatish paytida qo'llaniladigan standartlar va texnik xususiyatlarga bog'liq.
Yarimo'tkazgich uskunalarida granit komponentlaridan foydalanishda rioya qilinishi kerak bo'lgan ba'zi standartlar va texnik xususiyatlar quyidagilar:
1. Material zichligi: Granit komponentlarini ishlab chiqarishda ishlatiladigan granit materialining zichligi taxminan 2,65 g/sm3 bo'lishi kerak. Bu tabiiy granit materialining zichligi bo'lib, granit komponentlarining xususiyatlarida mustahkamlik va ishonchlilikni ta'minlaydi.
2. Tekislik: Tekislik yarimo'tkazgich uskunalarida ishlatiladigan granit komponentlari uchun eng muhim xususiyatlardan biridir. Granit yuzasining tekisligi 0,001 mm/m2 dan past bo'lishi kerak. Bu komponent yuzasining tekis va tekis bo'lishini ta'minlaydi, bu esa yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonlari uchun juda muhimdir.
3. Sirtni pardozlash: Granit komponentlarining sirtini pardozlash yuqori sifatli bo'lishi kerak, sirt pürüzlülüğü 0,4µm dan past bo'lishi kerak. Bu granit komponentining yuzasida ishqalanish koeffitsienti past bo'lishini ta'minlaydi, bu esa yarimo'tkazgich uskunalarining uzluksiz ishlashi uchun juda muhimdir.
4. Issiqlik kengayish koeffitsienti: Yarimo'tkazgich uskunalari har xil haroratlarda ishlaydi va granit komponentlari deformatsiyasiz issiqlik tebranishlariga bardosh bera olishi kerak. Yarimo'tkazgich uskunalarida ishlatiladigan granitning issiqlik kengayish koeffitsienti 2 x 10^-6 /°C dan past bo'lishi kerak.
5. O'lchovli bardoshlik: O'lchovli bardoshlik granit komponentlarining ishlashi uchun juda muhimdir. Granit komponentlarining o'lchovli bardoshlik barcha muhim o'lchamlar uchun ±0,1 mm oralig'ida bo'lishi kerak.
6. Qattiqlik va aşınmaya bardoshlilik: Qattiqlik va aşınmaya bardoshlilik yarimo'tkazgich uskunalarida ishlatiladigan granit komponentlari uchun muhim xususiyatlardir. Granit Mohs shkalasi 6-7 qattiqligiga ega, bu uni yarimo'tkazgich uskunalarida foydalanish uchun mos materialga aylantiradi.
7. Izolyatsiya samaradorligi: Yarimo'tkazgich uskunalarida ishlatiladigan granit komponentlari sezgir elektron komponentlarga zarar yetkazilishining oldini olish uchun ajoyib izolyatsiya xususiyatlariga ega bo'lishi kerak. Elektr qarshiligi 10^9 Ω/sm dan yuqori bo'lishi kerak.
8. Kimyoviy qarshilik: Granit komponentlari yarimo'tkazgich ishlab chiqarish jarayonlarida ishlatiladigan keng tarqalgan kimyoviy moddalarga, masalan, kislotalar va ishqorlarga chidamli bo'lishi kerak.
Xulosa qilib aytganda, yarimo'tkazgich uskunalarida ishlatiladigan granit komponentlari uchun standartlar va texnik xususiyatlar komponentlar va ular ishlatiladigan uskunalarning uzoq umr ko'rishi va ishonchliligini ta'minlash uchun juda muhimdir. Komponentlar eng yuqori sifatli bo'lishini ta'minlash uchun yuqoridagi ko'rsatmalarga loyihalash, ishlab chiqarish va o'rnatish jarayonlarida qat'iy rioya qilish kerak. Ushbu standartlar va texnik xususiyatlarga rioya qilish orqali yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilari o'z uskunalarining ishlashi optimal bo'lib qolishini ta'minlashlari mumkin, bu esa unumdorlik va rentabellikni oshiradi.
Nashr vaqti: 2024-yil 20-mart