.
Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish sohasida gofretni tekshirish uskunasining aniqligi to'g'ridan-to'g'ri chiplarning sifati va hosildorligini aniqlaydi. Asosiy aniqlash komponentlarini qo'llab-quvvatlovchi poydevor sifatida, uskunaning asosiy materialining o'lchovli barqarorligi uskunaning uzoq muddatli ishlashida hal qiluvchi rol o'ynaydi. Granit va quyma temir gofretni tekshirish uskunalari uchun keng tarqalgan ikkita asosiy materialdir. 10 yillik qiyosiy tadqiqot o'lchovli barqarorlik nuqtai nazaridan ular orasidagi sezilarli farqlarni aniqladi, bu esa uskunani tanlash uchun muhim ma'lumotnomalarni taqdim etdi. .
Eksperimental fon va dizayn
Yarimo'tkazgichli gofretlarni ishlab chiqarish jarayoni aniqlashning aniqligi uchun juda yuqori talablarga ega. Hatto mikrometr darajasidagi o'lchamli og'ish chipning ishlashining pasayishiga yoki hatto hurdaga olib kelishi mumkin. Uzoq muddatli foydalanish paytida granit va quyma temirning o'lchovli barqarorligini o'rganish uchun tadqiqot guruhi haqiqiy ish muhitini taqlid qiluvchi tajribalarni ishlab chiqdi. Xuddi shu spetsifikatsiyadagi granit va quyma temir namunalari tanlab olindi va harorat 15 ℃ dan 35 ℃ gacha o'zgarib turadigan va namlik 30% dan 70% RH gacha o'zgarib turadigan atrof-muhit kamerasiga joylashtirildi. Uskunaning ishlashi paytida mexanik tebranish tebranish stoli orqali simulyatsiya qilingan. Namunalarning asosiy o'lchamlari har chorakda yuqori aniqlikdagi lazer interferometri yordamida o'lchandi va ma'lumotlar 10 yil davomida doimiy ravishda qayd etildi. .
Tajriba natijasi: granitning mutlaq afzalligi
O'n yillik eksperimental ma'lumotlar shuni ko'rsatadiki, granit substrat hayratlanarli barqarorlikni namoyish etadi. Uning termal kengayish koeffitsienti juda past, o'rtacha atigi 4,6 × 10⁻⁶/℃. Haroratning keskin o'zgarishi ostida o'lchamdagi og'ish har doim ± 0,001 mm ichida nazorat qilinadi. Namlik o'zgarishi sharoitida granitning zich tuzilishi uni deyarli ta'sir qilmaydi va o'lchovli o'lchovli o'zgarishlar sodir bo'lmaydi. Mexanik tebranish muhitida granitning mukammal damping xususiyatlari tebranish energiyasini samarali tarzda o'zlashtiradi va o'lchovli tebranish juda kichikdir. .
Bundan farqli o'laroq, quyma temir taglik uchun uning o'rtacha issiqlik kengayish koeffitsienti 11 × 10⁻⁶/℃ - 13 × 10⁻⁶/℃ ga etadi va 10 yil ichida harorat o'zgarishi natijasida yuzaga keladigan maksimal o'lchamdagi og'ish ± 0,05 mm. Nam muhitda quyma temir zang va korroziyaga moyil bo'ladi. Ba'zi namunalar mahalliy deformatsiyani ko'rsatadi va o'lchamdagi og'ish yanada kuchayadi. Mexanik tebranish ta'sirida quyma temir tebranishning zaif ishlashiga ega va uning o'lchamlari tez-tez o'zgarib turadi, bu esa gofretni tekshirishning yuqori aniqlik talablariga javob berishni qiyinlashtiradi. .
Barqarorlikdagi farqning asosiy sababi
Granit yuzlab million yillar davomida geologik jarayonlar natijasida hosil bo'lgan. Uning ichki tuzilishi zich va bir xil bo'lib, mineral kristallar barqaror joylashgan bo'lib, ichki stressni tabiatan yo'q qiladi. Bu harorat, namlik va tebranish kabi tashqi omillarning o'zgarishiga juda befarq qiladi. Quyma temir quyma jarayoni bilan ishlab chiqariladi va uning ichida teshiklar va qum teshiklari kabi mikroskopik nuqsonlar mavjud. Shu bilan birga, quyish jarayonida hosil bo'lgan qoldiq stress tashqi muhitning rag'batlantirilishi ostida o'lchovli o'zgarishlarga olib kelishi mumkin. Quyma temirning metall xususiyatlari namlik tufayli zanglashga moyil bo'lib, strukturaning shikastlanishini tezlashtiradi va o'lchov barqarorligini pasaytiradi. .
Gofretni tekshirish uskunasiga ta'siri
Granit substratiga asoslangan gofretni tekshirish uskunasi barqaror o'lchovli ishlashi bilan tekshirish tizimining uzoq vaqt davomida yuqori aniqlikni saqlab turishini ta'minlashi, uskunaning aniqligi siljishidan kelib chiqadigan noto'g'ri xulosalar va o'tkazib yuborilgan aniqlashni kamaytirishi va mahsulot rentabelligini sezilarli darajada yaxshilashi mumkin. Shu bilan birga, texnik xizmat ko'rsatishning past talablari uskunaning to'liq hayot aylanish xarajatlarini kamaytiradi. Quyma temir tagliklardan foydalanadigan uskunalar, zaif o'lchamli barqarorlik tufayli, tez-tez kalibrlash va texnik xizmat ko'rsatishni talab qiladi. Bu nafaqat operatsion xarajatlarni oshiradi, balki yarimo'tkazgich ishlab chiqarish sifatiga ham ta'sir qilishi mumkin, chunki aniqlik etarli emas, bu esa potentsial iqtisodiy yo'qotishlarga olib keladi. .
Yarimo'tkazgich sanoatining yuqori aniqlik va sifatga intilishi tendentsiyasi ostida, gofretni tekshirish uskunalari uchun asosiy material sifatida granitni tanlash, shubhasiz, uskunaning ishlashini ta'minlash va korxonalarning raqobatbardoshligini oshirish uchun oqilona harakatdir. .
Xabar berish vaqti: 2025 yil 14-may