Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish sohasida, plastinkalarni tekshirish uskunalarining aniqligi chiplarning sifati va samaradorligini bevosita belgilaydi. Asosiy aniqlash komponentlarini qo'llab-quvvatlovchi poydevor sifatida, uskunaning asosiy materialining o'lchovli barqarorligi uskunaning uzoq muddatli operatsion ishlashida hal qiluvchi rol o'ynaydi. Granit va quyma temir plastinkalarni tekshirish uskunalari uchun keng tarqalgan ikkita asosiy materialdir. 10 yillik qiyosiy tadqiqot o'lchovli barqarorlik nuqtai nazaridan ular orasidagi sezilarli farqlarni aniqladi va uskunalarni tanlash uchun muhim ma'lumotnomalarni taqdim etdi.
Eksperimental fon va dizayn
Yarimo'tkazgichli plitalarni ishlab chiqarish jarayoni aniqlash aniqligiga juda yuqori talablarni qo'yadi. Hatto mikrometr darajasidagi o'lchov og'ishi ham chip ishlashining pasayishiga yoki hatto chiqindilarga olib kelishi mumkin. Uzoq muddatli foydalanish paytida granit va quyma temirning o'lchov barqarorligini o'rganish uchun tadqiqot guruhi haqiqiy ish muhitini simulyatsiya qiluvchi tajribalarni ishlab chiqdi. Bir xil spetsifikatsiyadagi granit va quyma temir namunalari tanlab olindi va harorat 15℃ dan 35℃ gacha va namlik 30% dan 70% gacha bo'lgan muhit kamerasiga joylashtirildi. Uskunaning ishlashi paytida mexanik tebranish tebranish jadvali orqali simulyatsiya qilindi. Namunalarning asosiy o'lchamlari har chorakda yuqori aniqlikdagi lazer interferometri yordamida o'lchandi va ma'lumotlar 10 yil davomida doimiy ravishda qayd etildi.
Tajriba natijasi: Granitning mutlaq afzalligi
O'n yillik eksperimental ma'lumotlar shuni ko'rsatadiki, granit substrati hayratlanarli darajada barqarorlikni namoyon etadi. Uning issiqlik kengayish koeffitsienti juda past, o'rtacha atigi 4,6 × 10⁻⁶/℃. Haroratning keskin o'zgarishi sharoitida o'lchov og'ishi har doim ±0,001 mm ichida nazorat qilinadi. Namlik o'zgarishiga qaramay, granitning zich tuzilishi uni deyarli ta'sirlantirmaydi va o'lchanadigan o'lchov o'zgarishlari sodir bo'lmaydi. Mexanik tebranish muhitida granitning ajoyib susturucu xususiyatlari tebranish energiyasini samarali ravishda yutadi va o'lchov tebranishi juda kichik.
Bunga javoban, quyma temir substrat uchun uning o'rtacha issiqlik kengayish koeffitsienti 11 × 10⁻⁶/℃ - 13 × 10⁻⁶/℃ ga etadi va 10 yil ichida harorat o'zgarishi natijasida yuzaga keladigan maksimal o'lchov og'ishi ±0,05 mm ni tashkil qiladi. Nam muhitda quyma temir zang va korroziyaga moyil bo'ladi. Ba'zi namunalarda mahalliy deformatsiya kuzatiladi va o'lchov og'ishi yanada ortadi. Mexanik tebranish ta'sirida quyma temir tebranishni susaytiruvchi xususiyatlarga ega emas va uning o'lchami tez-tez o'zgarib turadi, bu esa plastinka tekshiruvining yuqori aniqlik talablariga javob berishni qiyinlashtiradi.
Barqarorlikdagi farqning asosiy sababi
Granit yuz millionlab yillar davomida geologik jarayonlar orqali shakllangan. Uning ichki tuzilishi zich va bir xil bo'lib, mineral kristallari barqaror joylashgan bo'lib, tabiatan ichki stressni yo'q qiladi. Bu uni harorat, namlik va tebranish kabi tashqi omillarning o'zgarishiga juda sezgir qilmaydi. Cho'yan quyish jarayonida tayyorlanadi va ichida g'ovaklar va qum teshiklari kabi mikroskopik nuqsonlar mavjud. Shu bilan birga, quyish jarayonida hosil bo'lgan qoldiq stress tashqi muhitning ta'sirida o'lchov o'zgarishlariga olib kelishi mumkin. Cho'yanning metall xususiyatlari namlik tufayli uni zanglashga moyil qiladi, strukturaviy shikastlanishni tezlashtiradi va o'lchov barqarorligini pasaytiradi.
Gofretni tekshirish uskunalariga ta'siri
Granit substratga asoslangan plastinka tekshirish uskunalari barqaror o'lchovli ishlashi bilan tekshirish tizimining uzoq vaqt davomida yuqori aniqlikni saqlab turishini ta'minlaydi, uskunaning aniqlik o'zgarishi natijasida yuzaga keladigan noto'g'ri baholash va o'tkazib yuborilgan aniqlashni kamaytiradi va mahsulot hosildorligini sezilarli darajada yaxshilaydi. Shu bilan birga, past texnik xizmat ko'rsatish talablari uskunaning to'liq hayot aylanishi xarajatlarini kamaytiradi. O'lchov barqarorligi pastligi sababli quyma temir substratlardan foydalanadigan uskunalar tez-tez kalibrlash va texnik xizmat ko'rsatishni talab qiladi. Bu nafaqat operatsion xarajatlarni oshiradi, balki yetarli aniqlik tufayli yarimo'tkazgich ishlab chiqarish sifatiga ham ta'sir qilishi mumkin, bu esa potentsial iqtisodiy yo'qotishlarga olib kelishi mumkin.
Yarimo'tkazgichlar sanoatining yuqori aniqlik va sifatni oshirishga intilishi tendentsiyasi ostida, gofretni tekshirish uskunalari uchun asosiy material sifatida granitni tanlash, shubhasiz, uskunalarning ishlashini ta'minlash va korxonalarning raqobatbardoshligini oshirish uchun oqilona qadamdir.
Nashr vaqti: 2025-yil 14-may