Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish sohasida avtomatik optik tekshirish (AOI) uskunalari chiplar sifatini ta'minlashda muhim rol o'ynaydi. Uni aniqlash aniqligining ozgina yaxshilanishi ham butun sanoatda katta o'zgarishlarga olib kelishi mumkin. Uskunalar bazasi, asosiy komponent sifatida, aniqlash aniqligiga chuqur ta'sir ko'rsatadi. So'nggi yillarda sanoatda asosiy materiallarda inqilob yuz berdi. Ajoyib tebranishlarni bostirish ko'rsatkichlari bilan granit asta-sekin an'anaviy quyma temir materiallarni almashtirdi va AOI tekshirish uskunalarining yangi sevimlisiga aylandi. Uning tebranishlarni bostirish samaradorligi quyma temirga nisbatan 92% ga oshdi. Ushbu ma'lumotlar ortida qanday texnologik yutuqlar va sanoat o'zgarishlari yashiringan?
Yarimo'tkazgich AOI inspeksiya uskunalarida tebranish uchun qat'iy talablar
Yarimo'tkazgichli chiplarni ishlab chiqarish jarayoni nanoskalali davrga kirdi. AOI tekshirish jarayonida hatto juda kichik tebranishlar ham tekshirish natijalarida og'ishlarga olib kelishi mumkin. Chip yuzasidagi mayda tirnalishlar, bo'shliqlar va boshqa nuqsonlar ko'pincha mikrometr yoki hatto nanometr darajasida bo'ladi. Aniqlash uskunasining optik linzalari bu tafsilotlarni juda yuqori aniqlikda suratga olishi kerak. Baza tomonidan uzatiladigan har qanday tebranish linzaning siljishiga yoki tebranishiga olib keladi, natijada tasvirning xiralashishiga olib keladi va shu bilan nuqsonni aniqlashning aniqligiga ta'sir qiladi.
Cho'yan materiallari bir vaqtlar AOI tekshirish uskunalari asoslarida keng qo'llanilgan, chunki ular ma'lum bir mustahkamlik va ishlov berish ko'rsatkichlariga ega va narxi nisbatan past. Biroq, tebranishlarni bostirish nuqtai nazaridan, cho'yanning aniq kamchiliklari bor. Cho'yanning ichki tuzilishida ko'p miqdordagi grafit plitalari mavjud bo'lib, ular ichidagi mayda bo'shliqlarga teng va materialning uzluksizligini buzadi. Uskuna ishlaganda va tebranish hosil qilganda yoki tashqi muhit tebranishi bilan bezovta qilinganda, tebranish energiyasi cho'yanda samarali ravishda susayib bo'lmaydi, balki doimiy ravishda grafit plitasi va matritsa o'rtasida aks etadi va ustma-ust tushadi, natijada tebranishning uzluksiz tarqalishiga olib keladi. Tegishli tajribalar shuni ko'rsatadiki, cho'yan asos tashqi tebranish bilan qo'zg'atilgandan so'ng, tebranishning susayish vaqti bir necha soniya davom etishi mumkin, bu esa bu davrda aniqlash aniqligiga jiddiy ta'sir qiladi. Bundan tashqari, cho'yanning elastik moduli nisbatan past. Uskunaning tortishish kuchi va tebranish kuchlanishining uzoq muddatli ta'siri ostida u deformatsiyaga moyil bo'lib, tebranish uzatishni yanada kuchaytiradi.
Granit asoslarining tebranishlarni bostirish samaradorligini 92% ga oshirish siri
Granit, tabiiy toshning bir turi sifatida, yuz millionlab yillar davomida geologik jarayonlar orqali juda zich va bir xil ichki tuzilish hosil qilgan. U asosan kvarts va dala shpati kabi mineral kristallardan iborat bo'lib, ular bir-biri bilan chambarchas bog'langan va kristallar orasidagi kimyoviy bog'lanishlar kuchli va barqarordir. Ushbu tuzilish granitga ajoyib tebranishlarni bostirish qobiliyatini beradi. Tebranish granit asosiga uzatilganda, uning ichidagi mineral kristallar tebranish energiyasini tezda issiqlik energiyasiga aylantirishi va uni tarqatishi mumkin. Tadqiqotlar shuni ko'rsatadiki, granitning susayishi quyma temirnikiga qaraganda bir necha baravar yuqori, ya'ni u tebranish energiyasini samaraliroq yutib, tebranish amplitudasi va davomiyligini kamaytiradi. Professional sinovlardan so'ng, xuddi shu tebranish qo'zg'alish sharoitida, granit asosining tebranish susayish vaqti quyma temirnikining atigi 8% ni tashkil qiladi va tebranishlarni bostirish samaradorligi 92% ga oshdi.
Granitning yuqori qattiqligi va yuqori elastiklik moduli ham sezilarli darajada hissa qo'shadi. Yuqori qattiqlik uskunalar og'irligi va tashqi kuch ta'sirini ko'targanda poydevorning deformatsiyalanish ehtimoli kamroq ekanligini va har doim barqaror tayanch holatini saqlab qolishini ta'minlaydi. Yuqori elastiklik moduli tebranish ta'sirida poydevorning tezda asl shakliga qaytishini ta'minlaydi, bu esa tebranishning to'planishini kamaytiradi. Bundan tashqari, granit ajoyib issiqlik barqarorligiga ega va atrof-muhit haroratining o'zgarishiga deyarli ta'sir qilmaydi, harorat o'zgarishi natijasida kelib chiqadigan issiqlik kengayishi va qisqarish deformatsiyasidan qochadi va shu bilan tebranishlarni bostirish samaradorligining barqarorligini yanada ta'minlaydi.
Granit asoslari keltirib chiqaradigan sanoat o'zgarishi va istiqbollari
Granit asosli AOI tekshirish uskunasi aniqlash aniqligini sezilarli darajada oshirdi. U kichik o'lchamli chiplardagi nuqsonlarni ishonchli tarzda aniqlay oladi, noto'g'ri baholash darajasini 1% gacha kamaytiradi va chip ishlab chiqarish samaradorligini sezilarli darajada oshiradi. Shu bilan birga, uskunaning barqarorligi yaxshilandi, tebranish muammolari tufayli texnik xizmat ko'rsatish uchun o'chirishlar soni kamaydi, uskunaning ishlash muddati uzaytirildi va umumiy foydalanish xarajatlari kamaydi.
Nashr vaqti: 2025-yil 14-may