Yuqori darajadagi ishlab chiqarish va ilg'or ilmiy tadqiqotlar sohalarida aniq statik bosimli havo suzuvchi harakat platformasi ultra aniq ishlashga erishish uchun asosiy uskunalar hisoblanadi. Granit aniqlik asosi platformaning asosiy tayanch qismi bo'lib, uning ishlashi ish muhiti bilan chambarchas bog'liq. Ushbu ekologik talablarni tushunish va ularga rioya qilish nafaqat platformaning yuqori aniqlikdagi ishlashini ta'minlash, balki korxonaning tegishli sohalarda raqobatbardoshligini oshirishning muhim qismi bo'lib xizmat qilishi mumkin, bu haqda quyida batafsil ma'lumot berilgan.
1. Harorat: o'lchovli barqarorlikni ta'minlash uchun aniq nazorat
Granit o'zining barqarorligi bilan mashhur bo'lsa-da, uning issiqlik kengayish koeffitsienti nolga teng emas va haroratning kichik o'zgarishlari uning o'lchov aniqligiga ta'sir qilishi mumkin. Umuman olganda, granitning issiqlik kengayish koeffitsienti 5-7 × 10⁻⁶/℃ ni tashkil qiladi. Aniq statik bosimli havo suzuvchi harakat platformasini qo'llash stsenariysida bu kichik o'zgarish platforma tomonidan kuchaytiriladi, bu esa harakat aniqligining og'ishiga olib kelishi mumkin. Masalan, yarimo'tkazgich chip ishlab chiqarish jarayonida litografiya jarayoni joylashish aniqligi talablariga javob beradi, atrof-muhit haroratining 1 ° C tebranishi, 1 metr granit asosning yon uzunligi 5-7 mikron chiziqli kengayish yoki qisqarishni keltirib chiqarishi mumkin, bu chip litografiyasi naqshining og'ishini keltirib chiqarishi va hosilni kamaytirishi mumkin. Shuning uchun, granit aniqlik bazasi bilan jihozlangan aniq statik bosimli havo suzuvchi platforma, ideal ish muhiti harorati 20 ° C ± 1 ° C da qat'iy nazorat qilinishi kerak, korxonalar yuqori aniqlikdagi doimiy haroratli konditsioner tizimini o'rnatishi, atrof-muhit haroratini doimiy ravishda kuzatib borishi va aniq sozlashi, granit asosining o'lchamlarini barqaror saqlashi va platformaning yuqori aniqlikdagi ishlashini ta'minlashi mumkin.
2. namlik: oqilona nazorat, asosiy ish faoliyatini himoya qilish
Namlik aniq granit asoslariga ham sezilarli ta'sir ko'rsatadi. Yuqori namlik muhitida granit suv bug'ini oson yutadi va sirtda kondensatsiya paydo bo'lishi mumkin, bu nafaqat havo flotatsiya tizimining normal ishlashiga xalaqit beradi, balki granit yuzasining uzoq muddatli eroziyasiga olib keladi, uning aniqligi va xizmat muddatini pasaytiradi. Optik linzalarni silliqlash ustaxonasini misol qilib olsak, agar namlik uzoq vaqt davomida 60% dan yuqori bo'lsa, granit asos yuzasida adsorbsiyalangan suv bug'i havo suzuvchi plyonkaning bir xilligini buzadi, natijada linzalarni silliqlash aniqligi va sirt nuqsonlari pasayadi. Shuning uchun ish muhitining nisbiy namligi 40%-60% gacha RH oralig'ida nazorat qilinishi kerak. Korxonalar namlikni real vaqt rejimida kuzatib borish va boshqarish, aniq granit asos uchun mos namlik muhitini yaratish va aniq statik bosimli havo suzuvchi harakat platformasining barqaror ishlashini ta'minlash uchun namlikni kamaytirgichlar, namlik sensorlari va boshqa uskunalardan foydalanishlari mumkin.
3. tozalik: qat'iy nazorat, zarrachalar aralashuvini bartaraf etish
Chang zarralari aniq statik bosimli havo suzuvchi harakat platformasining "dushmani" bo'lib, granit aniqlikdagi asosiga katta zarar yetkazadi. Kichik zarrachalar gaz suzuvchi slayder va granit asos orasidagi gaz plyonkasi oralig'iga kirgandan so'ng, ular gaz plyonkasining bir xilligini buzishi, ishqalanishni oshirishi va hatto asos yuzasini tirnashi mumkin, bu platforma harakatining aniqligiga jiddiy ta'sir qiladi. Aerokosmik qismlarning o'ta aniq ishlov berish ustaxonasida, agar havodagi chang zarralari granit asosga tushsa, ishlov berish asbobining harakat traektoriyasi og'ishi mumkin, bu esa qismlarning ishlov berish aniqligiga ta'sir qiladi. Shuning uchun ish maydoni juda toza saqlanishi va 10 000 yoki undan yuqori tozalik standartiga yetishi kerak. Korxonalar yuqori samarali havo filtrlarini (HEPA) o'rnatish orqali havodagi chang zarralarini filtrlashi va odamlar tomonidan olib kelingan changni kamaytirish va granit asos va aniq statik bosimli havo suzuvchi harakat platformasining yuqori aniqlikdagi ish muhitini saqlab qolish uchun xodimlardan changsiz kiyim, poyabzal qopqog'i va boshqalarni kiyishni talab qilishi mumkin.
4. Vibratsiya: Silliq makon yaratish uchun samarali izolyatsiya
Tashqi tebranish aniq statik bosimli havo suzuvchi platformasining aniqligiga jiddiy xalaqit beradi, garchi aniq granit asos ma'lum bir tebranish susaytiruvchi qobiliyatga ega bo'lsa-da, yuqori kuchli tebranish hali ham uning bufer chegarasini buzishi mumkin. Zavod atrofidagi transport va katta mexanik uskunalarning ishlashi natijasida hosil bo'lgan tebranish yer orqali granit asosga uzatiladi, bu esa platforma harakatining aniqligiga xalaqit beradi. Yuqori darajadagi CMMda tebranish o'lchash zondi va o'lchanadigan ish qismi o'rtasidagi aloqaning beqaror bo'lishiga olib kelishi mumkin, bu esa o'lchov ma'lumotlarining og'ishiga olib keladi. Ushbu muammoni hal qilish uchun uskunani o'rnatish joyiga tebranish izolyatsiya yostiqchalarini yotqizish, tebranish izolyatsiyasi poydevorini qurish yoki tashqi tebranishni faol ravishda qoplash uchun faol tebranish izolyatsiya tizimidan foydalanish va granit aniq asos va aniq statik bosimli havo suzuvchi harakat platformasi uchun tinch va barqaror ish muhitini yaratish kabi samarali tebranish izolyatsiyasi choralarini ko'rish kerak.
Yuqoridagi ekologik talablarga javob bering, aniq statik bosimli havo suzuvchi harakat platformasida granit aniqlik bazasining afzalliklaridan to'liq foydalanish uchun platforma turli sohalar uchun yuqori aniqlikdagi va yuqori barqarorlikdagi harakatni boshqarish xizmatlarini taqdim etishini ta'minlash uchun. Agar korxonalar ishlab chiqarish muhitida ushbu tafsilotlarga e'tibor bera olsalar, ular aniq ishlab chiqarish, ilmiy tadqiqotlar va boshqa sohalardagi imkoniyatlardan foydalanadilar, raqobatbardoshligini oshiradilar va barqaror rivojlanishga erishadilar.
Nashr vaqti: 2025-yil 10-aprel