Yuqori darajadagi ishlab chiqarish va ilg'or ilmiy tadqiqotlar sohalarida aniq statik bosimli havo suzuvchi harakat platformasi ultra aniq ishlashga erishish uchun asosiy uskunadir. Granit nozik bazasi platformaning asosiy qo'llab-quvvatlovchi qismidir va uning ishlashi ish muhiti bilan chambarchas bog'liq. Ushbu ekologik talablarni tushunish va qondirish nafaqat platformaning yuqori aniqlikdagi ishlashini ta'minlashi mumkin, balki quyida batafsil tavsiflangan tegishli sohalarda raqobatbardoshligini oshirish uchun korxonaning muhim qismidir.
1. Harorat: o'lchamli barqarorlikni ta'minlash uchun aniq nazorat
Granit o'zining barqarorligi bilan mashhur bo'lsa-da, uning termal kengayish koeffitsienti nolga teng emas va kichik harorat o'zgarishlari hali ham uning o'lchov aniqligiga ta'sir qilishi mumkin. Umuman olganda, granitning termal kengayish koeffitsienti 5-7 × 10⁻⁶/℃ ni tashkil qiladi. Aniq statik bosimli havo suzuvchi harakat platformasining dastur stsenariysida bu engil o'zgarish platforma tomonidan kuchaytiriladi, bu esa harakat aniqligining og'ishiga olib kelishi mumkin. Misol uchun, yarimo'tkazgich chiplarini ishlab chiqarish jarayonida, danami darajasining aniqlik talablarini aniqlash uchun litografiya jarayoni, atrof-muhit haroratining 1 ° C o'zgarishi, 1 metrli granit poydevorining yon uzunligi 5-7 mikron chiziqli kengayish yoki qisqarishni keltirib chiqarishi mumkin, bu chip litografiyasini ishlab chiqarishni kamaytirish uchun etarli. Shuning uchun, granit nozik bazasi bilan jihozlangan nozik statik bosimli havo suzuvchi platforma, ideal ish muhiti harorati 20 ° C ± 1 ° C darajasida qat'iy nazorat qilinishi kerak, korxonalar yuqori aniqlikdagi doimiy haroratli konditsioner tizimini o'rnatishi, atrof-muhit haroratini doimiy ravishda kuzatib borishi va to'g'ri sozlashi, granit bazasining o'lchamini saqlab turishi mumkin.
2.namlik: oqilona nazorat qilish, asosiy ish faoliyatini himoya qilish
Namlik ham nozik granit asoslariga sezilarli ta'sir ko'rsatadi. Yuqori namlikli muhitda granit suv bug'ini oson qabul qiladi va sirtda kondensatsiya bo'lishi mumkin, bu nafaqat havo flotatsiyasi tizimining normal ishlashiga xalaqit beradi, balki granit yuzasining uzoq muddatli eroziyasiga olib keladi, uning aniqligi va xizmat muddatini qisqartiradi. Optik linzalarni silliqlash ustaxonasini misol qilib oladigan bo'lsak, namlik uzoq vaqt davomida 60% RH dan yuqori bo'lsa, granit asosining yuzasida adsorbsiyalangan suv bug'lari havo float plyonkasining bir xilligini buzadi, natijada linzalarni silliqlash aniqligi va sirt nuqsonlari kamayadi. Shuning uchun ish muhitining nisbiy namligini 40% -60% RH oralig'ida nazorat qilish kerak. Korxonalar namlikni real vaqt rejimida kuzatish va nazorat qilish, nozik granit bazasi uchun mos namlik muhitini yaratish va aniq statik bosimli havo suzuvchi harakat platformasining barqaror ishlashini ta'minlash uchun namlikni quritgichlar, namlik sensorlari va boshqa uskunalardan foydalanishi mumkin.
3. tozalik: qat'iy nazorat qilish, zarrachalar aralashuvini yo'q qilish
Chang zarralari aniq statik bosimli havo suzuvchi harakat platformasining "dushmanı" bo'lib, granit nozik asosiga katta zarar etkazadi. Kichkina zarrachalar gaz plyonkasi bo'shlig'iga gaz float slayderi va granit poydevori o'rtasidagi gaz plyonkasi bo'shlig'iga kirgandan so'ng, ular gaz plyonkasining bir xilligini buzishi, ishqalanishni kuchaytirishi va hatto taglikning sirtini chizish, platforma harakatining aniqligiga jiddiy ta'sir qilishi mumkin. Aerokosmik qismlarning o'ta nozik ishlov berish ustaxonasida, agar havodagi chang zarralari granit asosga tushib qolsa, ishlov berish asbobining harakat traektori chetga chiqishi mumkin, bu qismlarni qayta ishlashning aniqligiga ta'sir qiladi. Shuning uchun ish joyi juda toza bo'lishi va 10 000 yoki undan yuqori tozalik standartiga erishishi kerak. Korxonalar yuqori samarali havo filtrlarini (HEPA) o'rnatish orqali havodagi chang zarralarini filtrlashi mumkin va odamlar tomonidan olib kelingan changni kamaytirish va granit asosining yuqori aniqlikdagi ish muhitini saqlab qolish uchun xodimlardan changsiz kiyim, poyafzal qoplamalari va boshqalarni kiyishni talab qilishlari mumkin.
4. Vibratsiya: silliq bo'shliqni yaratish uchun samarali izolyatsiya
Tashqi tebranish aniq statik bosimli havo suzuvchi platformaning aniqligiga jiddiy to'sqinlik qiladi, garchi nozik granit bazasi ma'lum bir tebranish zaiflashuviga ega bo'lsa-da, lekin yuqori quvvatli tebranish hali ham bufer chegarasini buzishi mumkin. Zavod atrofidagi transport harakati va yirik mexanik uskunalarning ishlashi natijasida hosil bo'lgan tebranish yer orqali granit poydevoriga uzatiladi, bu esa platforma harakatining aniqligiga to'sqinlik qiladi. Yuqori darajali CMMda tebranish o'lchov probi va o'lchanadigan ish qismi o'rtasidagi aloqani beqaror bo'lishiga olib kelishi mumkin, bu esa o'lchov ma'lumotlarining og'ishiga olib keladi. Ushbu muammoni hal qilish uchun uskunani o'rnatish maydonida tebranish izolyatsiyasi yostiqchalarini yotqizish, tebranish izolyatsiyasi poydevorini qurish yoki tashqi tebranishlarni faol ravishda bartaraf etish uchun faol tebranish izolyatsiyalash tizimidan foydalanish va granitning nozik harakati uchun tinch va barqaror ish muhitini yaratish kabi samarali tebranish izolyatsiyalash choralarini ko'rish kerak.
Aniq statik bosimli havo suzuvchi harakat platformasida granit nozik bazasining afzalliklarini to'liq o'ynash uchun yuqoridagi ekologik talablarga javob bering, platforma turli sohalar uchun yuqori aniqlikdagi va yuqori barqarorlikdagi harakatni boshqarish xizmatlarini taqdim etishini ta'minlash. Agar korxonalar ishlab chiqarish muhitida ushbu tafsilotlarga e'tibor bera olsalar, ular nozik ishlab chiqarish, ilmiy tadqiqotlar va boshqa sohalarda imkoniyatdan foydalanadilar, raqobatbardoshligini oshiradilar va barqaror rivojlanishga erishadilar.
Yuborilgan vaqt: 2025-yil 10-aprel