Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish: Chip ishlab chiqarish jarayonida fotolitografiya jarayoni sxema naqshini gofretga aniq o'tkazishi kerak. Yagona o'qli havo suzuvchi ultra-aniqlikdagi harakat modulining granit bazasi litografiya uskunasida gofret stolining yuqori aniqlikdagi joylashuvi va barqaror qo'llab-quvvatlashini ta'minlaydi. Misol uchun, ASML va boshqa xalqaro miqyosda mashhur litografiya mashinasi ishlab chiqaruvchilari o'zlarining yuqori darajadagi uskunalarida granit asosli havo suzuvchi harakat modullaridan foydalanadilar, bu esa litografiya naqshining aniqligini ta'minlash uchun gofretning joylashishni aniqlash aniqligini nanometr darajasida nazorat qilishi mumkin, shu bilan birga chipning integratsiyasi va ishlashini yaxshilaydi.
Nozik o'lchov maydoni: CMM - sanoat ishlab chiqarishida keng tarqalgan bo'lib foydalaniladigan, ishlov beriladigan qismning o'lchami, shakli va joylashuvi aniqligini o'lchash uchun ishlatiladigan nozik o'lchash uskunasi. Granit poydevoridagi yagona eksa havo floatining ultra aniqlikdagi harakat moduli CMM ning harakat platformasi sifatida ishlatilishi mumkin, bu yuqori aniqlikdagi chiziqli harakatni amalga oshirishi va o'lchash probi uchun barqaror harakat traektoriyasini ta'minlaydi. Masalan, Hexagon’ning yuqori darajadagi CMM’i bu kombinatsiyadan katta va murakkab qismlarni mikron darajasiga qadar o‘lchash aniqligi bilan o‘lchash uchun foydalanadi, bu esa avtomobilsozlik, aerokosmik va boshqa sohalarda ehtiyot qismlar sifatini nazorat qilish uchun kuchli kafolat beradi.
Aerokosmik soha: Aerokosmik qismlarni qayta ishlash va sinovdan o'tkazishda yuqori aniqlik talab qilinadi. Masalan, samolyot dvigatelining pichoqlarini qayta ishlash pichoq profilining aniqligini ta'minlash uchun asbobning harakat traektoriyasini aniq nazorat qilishni talab qiladi. Yagona eksa havo suzuvchi ultra nozik harakat modulining granit asosi asbob uchun yuqori aniqlikdagi harakat nazoratini ta'minlash va pichoqni ishlov berish aniqligi dizayn talablariga javob berishini ta'minlash uchun besh eksa ishlov berish markaziga va boshqa uskunalarga qo'llanilishi mumkin. Shu bilan birga, aeromotorni yig'ish jarayonida, shuningdek, qismlarni yig'ish aniqligini aniqlash uchun yuqori aniqlikdagi o'lchash uskunasidan foydalanish kerak. Granit poydevorining havoda suzuvchi harakat moduli yig'ish sifatini ta'minlash uchun o'lchash uskunalari uchun barqaror qo'llab-quvvatlash va aniq harakatni ta'minlashi mumkin.
Optik tekshiruv maydoni: Optik komponentlarni ishlab chiqarish va sinovdan o'tkazish jarayonida optik qismlarni yuqori aniqlikdagi joylashishni aniqlash va o'lchashni amalga oshirish kerak. Masalan, nometall va linzalar kabi yuqori aniqlikdagi optik komponentlarni ishlab chiqarishda sirt shaklining aniqligini aniqlash uchun interferometrlar va boshqa uskunalardan foydalanish kerak. Yagona o'qli havo suzuvchi ultra aniqlikdagi harakat modulining granit bazasi interferometrning harakatlanish platformasi sifatida ishlatilishi mumkin, bu sub-mikron joylashishni aniqlash aniqligini amalga oshirishi va optik komponentlarni aniqlash uchun aniq ma'lumotni ta'minlaydi. Bundan tashqari, lazerni qayta ishlash uskunasida, shuningdek, lazer nurlarining skanerlash traektoriyasini nazorat qilish uchun yuqori aniqlikdagi harakat platformasidan foydalanish kerak, havo suzuvchi harakat modulining granit bazasi ushbu talabga javob berishi mumkin, yuqori aniqlikdagi lazerni qayta ishlashga erishish.
Xabar vaqti: 2025 yil 07 aprel