Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish: Chip ishlab chiqarish jarayonida fotolitografiya jarayoni sxema naqshini aniq plastinkaga o'tkazishi kerak. Bir o'qli havoda suzuvchi ultra aniq harakat modulining granit asosi litografiya uskunasida plastinka stoli uchun yuqori aniqlikdagi joylashishni va barqaror qo'llab-quvvatlashni ta'minlashi mumkin. Masalan, ASML va boshqa xalqaro miqyosda tanilgan litografiya mashinalari ishlab chiqaruvchilari o'zlarining yuqori darajadagi uskunalarida granit asosli havoda suzuvchi harakat modullaridan foydalanadilar, ular plastinkaning joylashish aniqligini nanometr darajasida boshqarishi va litografiya naqshining aniqligini ta'minlashi mumkin, shu bilan chipning integratsiyasi va ishlashini yaxshilaydi.
Aniq o'lchash maydoni: CMM - bu sanoat ishlab chiqarishida keng qo'llaniladigan aniq o'lchash uskunasi bo'lib, u ish qismining o'lchami, shakli va joylashuv aniqligini o'lchash uchun ishlatiladi. Granit asosidagi bitta o'qli havo suzgichining ultra aniq harakat moduli CMMning harakat platformasi sifatida ishlatilishi mumkin, bu yuqori aniqlikdagi chiziqli harakatni amalga oshirishi va o'lchash zondi uchun barqaror harakat traektoriyasini ta'minlashi mumkin. Masalan, Hexagonning yuqori darajadagi CMMsi bu kombinatsiyadan foydalanib, katta va murakkab qismlarni mikron darajasigacha o'lchash aniqligi bilan o'lchaydi, bu esa avtomobilsozlik, aerokosmik va boshqa sohalarda qismlar sifatini nazorat qilish uchun kuchli kafolat beradi.
Aerokosmik soha: Aerokosmik qismlarni qayta ishlash va sinovdan o'tkazishda yuqori aniqlik talab qilinadi. Masalan, samolyot dvigateli pichoqlarini ishlov berish pichoq profilining aniqligini ta'minlash uchun asbobning harakat traektoriyasini aniq boshqarishni talab qiladi. Bitta o'qli havo suzuvchi ultra aniq harakat modulining granit asosi asbob uchun yuqori aniqlikdagi harakatni boshqarishni ta'minlash va pichoqning ishlov berish aniqligi dizayn talablariga javob berishini ta'minlash uchun besh o'qli ishlov berish markaziga va boshqa uskunalarga qo'llanilishi mumkin. Shu bilan birga, aerodinamik dvigatelni yig'ish jarayonida qismlarni yig'ish aniqligini aniqlash uchun yuqori aniqlikdagi o'lchash uskunalaridan foydalanish ham zarur. Granit asosning havo suzuvchi harakat moduli yig'ish sifatini ta'minlash uchun o'lchash uskunalari uchun barqaror tayanch va aniq harakatni ta'minlashi mumkin.
Optik tekshirish sohasi: Optik komponentlarni ishlab chiqarish va sinovdan o'tkazish jarayonida optik komponentlarni yuqori aniqlikdagi joylashishni aniqlash va o'lchash zarur. Masalan, oynalar va linzalar kabi yuqori aniqlikdagi optik komponentlarni ishlab chiqarishda sirt shaklining aniqligini aniqlash uchun interferometrlar va boshqa uskunalardan foydalanish kerak. Yagona o'qli havoda suzuvchi ultra aniq harakat modulining granit asosi interferometrning harakat platformasi sifatida ishlatilishi mumkin, bu submikron joylashish aniqligini amalga oshirishi va optik komponentlarni aniqlash uchun aniq ma'lumotlarni qo'llab-quvvatlashi mumkin. Bundan tashqari, lazer bilan ishlov berish uskunasida lazer nurining skanerlash traektoriyasini boshqarish uchun yuqori aniqlikdagi harakat platformasidan foydalanish ham zarur, havoda suzuvchi harakat modulining granit asosi yuqori aniqlikdagi lazer bilan ishlov berishga erishish uchun bu talabga javob berishi mumkin.
Joylashtirilgan vaqt: 2025-yil 7-aprel