Aniqlik o'lchovlari sohasida, ajoyib barqarorligi, yuqori qattiqligi va yaxshi aşınmaya bardoshliligi bilan granit aniqlik platformasi ko'plab yuqori aniqlikdagi o'lchov ishlari uchun ideal poydevorga aylandi. Biroq, atrof-muhit omillarining harorat o'zgarishi, masalan, qorong'ida yashiringan "aniqlik qotili" granit aniqlik platformasining o'lchov aniqligiga sezilarli ta'sir ko'rsatadi. O'lchov ishlarining aniqligi va ishonchliligini ta'minlash uchun ta'sir chegarasini chuqur o'rganish juda muhimdir.
Granit o'zining barqarorligi bilan mashhur bo'lsa-da, u harorat o'zgarishiga qarshi emas. Uning asosiy tarkibiy qismlari kvarts, dala shpati va boshqa minerallar bo'lib, ular turli haroratlarda issiqlik kengayishi va qisqarishini keltirib chiqaradi. Atrof-muhit harorati ko'tarilganda, granit aniqlik platformasi qiziydi va kengayadi va platformaning o'lchami biroz o'zgaradi. Harorat pasayganda, u asl holatiga qaytadi. Kichik o'lchamdagi o'zgarishlar aniqlik o'lchash stsenariylarida o'lchov natijalariga ta'sir qiluvchi asosiy omillarga aylantirilishi mumkin.
Misol tariqasida, umumiy koordinata o'lchash asbobini moslashtiruvchi granit platformasini olaylik, yuqori aniqlikdagi o'lchash vazifasida o'lchov aniqligi talablari ko'pincha mikron darajasiga yoki undan ham yuqoriroq darajaga etadi. 20℃ standart haroratda platformaning turli o'lchov parametrlari ideal holatda bo'ladi va ish qismini o'lchash orqali aniq ma'lumotlarni olish mumkin deb taxmin qilinadi. Atrof-muhit harorati o'zgarib turganda, vaziyat juda boshqacha. Ko'p sonli eksperimental ma'lumotlar statistikasi va nazariy tahlildan so'ng, normal sharoitlarda atrof-muhit haroratining 1℃ o'zgarishi, granit aniqlik platformasining chiziqli kengayishi yoki qisqarishi taxminan 5-7 × 10⁻⁶/℃ ni tashkil qiladi. Bu shuni anglatadiki, yon uzunligi 1 metr bo'lgan granit platforma uchun harorat 1 ° C ga o'zgarganda yon uzunligi 5-7 mikronga o'zgarishi mumkin. Aniq o'lchovlarda o'lchamning bunday o'zgarishi o'lchov xatolarini qabul qilinadigan diapazondan tashqariga chiqarish uchun etarli.
Turli aniqlik darajalari talab qiladigan o'lchov ishlari uchun harorat tebranishlarining ta'sir chegarasi ham har xil. Oddiy aniqlik o'lchovlarida, masalan, mexanik qismlarning o'lchamlarini o'lchashda, agar ruxsat etilgan o'lchov xatosi ±20 mikron ichida bo'lsa, yuqoridagi kengayish koeffitsienti hisob-kitobiga ko'ra, platforma o'lchamining o'zgarishi natijasida kelib chiqadigan o'lchov xatosini maqbul darajada nazorat qilish uchun harorat tebranishini ± 3-4 ℃ oralig'ida nazorat qilish kerak. Yarimo'tkazgich chiplarini ishlab chiqarishda litografiya jarayonini o'lchash kabi yuqori aniqlik talablariga ega bo'lgan joylarda xato ± 1 mikron ichida ruxsat etiladi va harorat tebranishini ± 0,1-0,2 ° C ichida qat'iy nazorat qilish kerak. Harorat tebranishi bu chegaradan oshib ketgandan so'ng, granit platformasining issiqlik kengayishi va qisqarishi o'lchov natijalarida og'ishlarga olib kelishi mumkin, bu esa chip ishlab chiqarish samaradorligiga ta'sir qiladi.
Granit aniqlik platformasining o'lchash aniqligiga atrof-muhit harorati o'zgarishining ta'sirini bartaraf etish uchun amaliy ishlarda ko'pincha ko'plab choralar qo'llaniladi. Masalan, harorat o'zgarishini juda kichik diapazonda boshqarish uchun o'lchash muhitiga yuqori aniqlikdagi doimiy harorat uskunalari o'rnatiladi; Haroratni kompensatsiya qilish o'lchov ma'lumotlari bo'yicha amalga oshiriladi va o'lchov natijalari platformaning issiqlik kengayish koeffitsienti va real vaqt rejimidagi harorat o'zgarishlariga muvofiq dasturiy algoritm tomonidan tuzatiladi. Biroq, qanday choralar ko'rilishidan qat'i nazar, atrof-muhit harorati o'zgarishining granit aniqlik platformasining o'lchash aniqligiga ta'sirini aniq tushunish aniq va ishonchli o'lchash ishlarini ta'minlashning asosiy shartidir.
Joylashtirilgan vaqt: 2025-yil 3-aprel