Nozik o'lchov sohasida granit nozik platformasi o'zining mukammal barqarorligi, yuqori qattiqligi va yaxshi aşınma qarshiligi bilan ko'plab yuqori aniqlikdagi o'lchov ishlari uchun ideal asosga aylandi. Biroq, atrof-muhit omillaridagi haroratning o'zgarishi, zulmatda yashiringan "aniq qotil" kabi, granit nozik platformasining o'lchov aniqligiga ahamiyatsiz ta'sir ko'rsatadi. O'lchov ishlarining aniqligi va ishonchliligini ta'minlash uchun ta'sir chegarasini chuqur o'rganish katta ahamiyatga ega.
Granit o'zining barqarorligi bilan mashhur bo'lsa-da, u harorat o'zgarishidan himoyalanmaydi. Uning asosiy komponentlari kvarts, dala shpati va boshqa minerallar bo'lib, ular turli haroratlarda termal kengayish va qisqarish fenomenini keltirib chiqaradi. Atrof-muhit harorati ko'tarilganda, granit nozik platformasi isitiladi va kengaytiriladi va platformaning o'lchami biroz o'zgaradi. Harorat pasayganda, u asl holatiga qaytadi. Kichik o'lchamdagi o'zgarishlarni aniq o'lchash stsenariylarida o'lchov natijalariga ta'sir qiluvchi asosiy omillarga ko'paytirish mumkin.
Misol tariqasida granit platformaga mos keladigan umumiy koordinatali o'lchash moslamasini oladigan bo'lsak, yuqori aniqlikdagi o'lchov vazifasida o'lchov aniqligi talablari ko'pincha mikron darajasiga yoki undan yuqori darajaga etadi. 20 ℃ standart haroratda platformaning turli o'lchovli parametrlari ideal holatda bo'ladi va ish qismini o'lchash orqali aniq ma'lumotlarni olish mumkin deb taxmin qilinadi. Atrof-muhit harorati o'zgarganda, vaziyat juda boshqacha. Ko'p sonli eksperimental ma'lumotlar statistikasi va nazariy tahlildan so'ng, normal sharoitlarda atrof-muhit haroratining 1 ℃ o'zgarishi, granit nozik platformasining chiziqli kengayishi yoki qisqarishi taxminan 5-7 × 10⁻⁶/℃ ni tashkil qiladi. Bu shuni anglatadiki, yon uzunligi 1 metr bo'lgan granit platformasi uchun harorat 1 ° S ga o'zgargan bo'lsa, yon uzunligi 5-7 mikronga o'zgarishi mumkin. Aniq o'lchovlarda bunday o'lchamdagi o'zgarish qabul qilinadigan diapazondan tashqarida o'lchov xatolarini keltirib chiqarish uchun etarli.
Turli xil aniqlik darajalari talab qiladigan o'lchov ishlari uchun harorat o'zgarishining ta'sir chegarasi ham har xil. Oddiy aniq o'lchashda, masalan, mexanik qismlarning o'lchamini o'lchashda, agar ruxsat etilgan o'lchov xatosi ± 20 mikron ichida bo'lsa, yuqoridagi kengayish koeffitsienti hisobiga ko'ra, platforma o'lchamining maqbul darajada o'zgarishi natijasida kelib chiqqan o'lchov xatosini nazorat qilish uchun harorat o'zgarishini ± 3-4 ℃ oralig'ida nazorat qilish kerak. Yarimo'tkazgich chiplarini ishlab chiqarishda litografiya jarayonini o'lchash kabi yuqori aniqlik talablari bo'lgan joylarda xatolik ± 1 mikron ichida ruxsat etiladi va harorat o'zgarishi ± 0,1-0,2 ° S oralig'ida qat'iy nazorat qilinishi kerak. Haroratning o'zgarishi bu chegaradan oshib ketganda, o'lchash platformasining termal kengayishi va qisqarishi natijalariga ta'sir qilishi mumkin. chip ishlab chiqarish rentabelligi.
Atrof-muhit haroratining o'zgarishining granit nozik platformasini o'lchash aniqligiga ta'sirini bartaraf etish uchun ko'pincha amaliy ishlarda ko'plab chora-tadbirlar qo'llaniladi. Misol uchun, o'lchash muhitida juda kichik diapazonda harorat o'zgarishini nazorat qilish uchun yuqori aniqlikdagi doimiy harorat uskunasi o'rnatiladi; Harorat kompensatsiyasi o'lchov ma'lumotlari bo'yicha amalga oshiriladi va o'lchov natijalari platformaning termal kengayish koeffitsienti va real vaqtda harorat o'zgarishiga muvofiq dasturiy ta'minot algoritmi bilan tuzatiladi. Biroq, qanday choralar ko'rilmasin, atrof-muhit haroratining o'zgarishining granit nozik platformasining o'lchov aniqligiga ta'sirini aniq tushunish aniq va ishonchli o'lchash ishlarini ta'minlashning asosidir.
Xabar vaqti: 2025 yil 03 aprel