Aniq ishlab chiqarish va ilmiy tadqiqotlar chegarasida ultra aniq harakatni boshqarishga talab kundan-kunga ortib bormoqda. Yuqori aniqlikdagi chiziqli harakatga erishish uchun asosiy uskunalar sifatida ultra aniqlikdagi bir o'qli havo suzuvchi modulning ishlashi yakuniy mahsulot sifatiga va ilmiy tadqiqot natijalarining aniqligiga bevosita ta'sir qiladi. Ko'plab ta'sir qiluvchi omillar orasida granit asosni qo'llash unga mislsiz ustunlik beradi va mukammal aniqlikni ta'minlashning asosiy elementiga aylanadi.
Millionlab yillar davom etgan geologik o'zgarishlardan so'ng, granitning ichki tuzilishi juda zich va bir xil. U asosan kvarts, dala shpati va boshqa minerallardan iborat bo'lib, bu noyob material tarkibi granitga ajoyib fizik xususiyatlar beradi. Bir o'qli havo suzuvchi ultra aniq harakat modulining asosi sifatida ishlatilganda, granit avvalo juda yuqori barqarorlikni namoyish etadi. Oddiy metall material asoslari bilan taqqoslaganda, granit asoslari harorat o'zgarishi va mexanik tebranish kabi tashqi muhit buzilishlariga qarshi kuchliroq deformatsiyaga chidamlilikni ko'rsatadi. Elektron chip ishlab chiqarish jarayonida nanometr darajasiga erishish uchun chip litografiyasining joylashish aniqligi talab qilinadi. Ishlab chiqarish sexida katta uskunalarning ishlashi natijasida hosil bo'lgan tebranish va atrof-muhit haroratidagi ozgina o'zgarishlar litografiya uskunasining harakat aniqligiga ta'sir qilishi mumkin. Granit asosli bitta o'qli havo suzuvchi ultra aniq harakat moduli tashqi tebranishni samarali ravishda susaytirishi va harakat moduliga uzatiladigan tebranish amplitudasini 80% dan ortiqqa kamaytirishi mumkin. Shu bilan birga, uning juda past issiqlik kengayish koeffitsienti harorat o'zgarganda taglikning o'lchamini juda kam o'zgartiradi, bu esa havo suzuvchi harakat modulining murakkab muhitda barqaror harakat aniqligini saqlab qolishini ta'minlaydi, chip litografiyasi uchun aniq joylashish asosini ta'minlaydi va chip ishlab chiqarish rentabelligini sezilarli darajada yaxshilaydi.
Bundan tashqari, granit yaxshi aşınmaya bardoshli. Ultra aniqlikdagi bir o'qli havo suzuvchi modulining tez-tez o'zaro harakatlanishi jarayonida, havo suzuvchi slayder va taglik o'rtasida gaz plyonkasi tayanchi mavjud bo'lsa-da, uzoq muddatli foydalanish muqarrar ravishda ma'lum darajada ishqalanishni keltirib chiqaradi. Yuqori qattiqlik xususiyatlariga ega granit asos bu ishqalanish natijasida yuzaga keladigan aşınmaya samarali qarshilik ko'rsatishi va harakat modulining xizmat muddatini uzaytirishi mumkin. Universitetlarning ilmiy tadqiqot laboratoriyasida mikrozarrachalarni aniqlash uchun ishlatiladigan eksperimental uskunalar ko'p sonli aniq eksperimental ma'lumotlarni olish uchun bir o'qli havo flotatsiyasining ultra aniqlikdagi harakat modulining uzoq vaqt davomida barqaror ishlashini talab qiladi. Granit asosining yuqori aşınmaya bardoshliligi harakat modulining aniqligini uzoq vaqt ishlatilgandan keyin ham dastlabki yuqori aniqlik darajasida saqlab turishni ta'minlaydi, bu ilmiy tadqiqot ishlarining uzluksizligi va aniqligi uchun ishonchli kafolat beradi va tadqiqotchilarga mikroskopik dunyo sirini chuqur o'rganishga yordam beradi.
Granit asosli bitta o'qli havo suzuvchi ultra aniq harakat moduli aniq ishlab chiqarish va ilmiy tadqiqotlar uchun aniq "navigator"ga o'xshaydi. Granit asos o'zining ajoyib barqarorligi, aşınmaya bardoshliligi bilan havo suzuvchi harakat modulining yuqori aniqlikdagi harakati uchun yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda, optik asboblar ishlab chiqarishda, yuqori darajadagi ilmiy tadqiqotlarda va sohaning boshqa ko'plab aniqlik talablarida mustahkam tayanchni ta'minlaydi, sanoatni yuqori aniqlik va yuqori sifatli yo'nalishga olib chiqishda muhim rol o'ynaydi.
Joylashtirilgan vaqt: 2025-yil 7-aprel