Aniq ishlab chiqarish va ilmiy tadqiqotlar chegarasida o'ta aniq harakatni boshqarishga bo'lgan talab kundan-kunga ortib bormoqda. Yuqori aniqlikdagi chiziqli harakatga erishish uchun asosiy uskuna sifatida ultra aniqlikdagi yagona eksa havo suzuvchi modulning ishlashi yakuniy mahsulot sifatiga va ilmiy tadqiqot natijalarining aniqligiga bevosita ta'sir qiladi. Ko'pgina ta'sir etuvchi omillar orasida granit asosini qo'llash unga tengsiz afzallik beradi va mukammal aniqlikni ta'minlash uchun asosiy elementga aylanadi.
Granit, millionlab yillik geologik o'zgarishlardan so'ng, ichki tuzilishi juda zich va bir xil. U asosan kvarts, dala shpati va boshqa minerallardan iborat bo'lib, bu noyob material tarkibi granitga ajoyib jismoniy xususiyatlarni beradi. Bir o'qli havo floatining ultra aniqlikdagi harakat modulining asosi sifatida foydalanilganda, granit birinchi navbatda juda yuqori barqarorlikni namoyish etadi. Oddiy metall materiallar asoslari bilan solishtirganda, granit asoslari haroratning o'zgarishi va mexanik tebranish kabi tashqi muhit buzilishlariga nisbatan kuchli deformatsiyaga qarshilik ko'rsatadi. Elektron chiplarni ishlab chiqarish jarayonida nanometr darajasiga erishish uchun chip litografiyasining joylashish aniqligi talab qilinadi. Ishlab chiqarish sexida katta uskunalarning ishlashi natijasida hosil bo'lgan tebranish va atrof-muhit haroratining engil o'zgarishi litografiya uskunasining harakat aniqligiga ta'sir qilishi mumkin. Granit asosli yagona eksa havo suzuvchi ultra aniq harakat moduli tashqi tebranishlarni samarali ravishda susaytirishi va harakat moduliga uzatiladigan tebranish amplitudasini 80% dan ko'proq kamaytirishi mumkin. Shu bilan birga, uning juda past termal kengayish koeffitsienti harorat o'zgarganda bazaning o'lchamini juda kam o'zgartiradi, bu esa havoda suzuvchi harakat modulining murakkab muhitda barqaror harakat aniqligini saqlab turishini ta'minlaydi, chip litografiyasi uchun aniq joylashishni aniqlash asosini ta'minlaydi va chip ishlab chiqarish rentabelligini sezilarli darajada yaxshilaydi.
Bundan tashqari, granit yaxshi aşınma qarshilikka ega. Havo float slayderi va taglik o'rtasida gaz plyonkasi qo'llab-quvvatlanadigan bo'lsa-da, ultra aniqlikdagi bitta eksa havo float modulining tez-tez o'zaro harakatlanishi jarayonida, uzoq muddatli foydalanish muqarrar ravishda ma'lum darajada ishqalanish hosil qiladi. Granit asosi, yuqori qattiqlik xususiyatlariga ega, bu ishqalanishdan kelib chiqadigan aşınmaya samarali qarshilik ko'rsatishi va harakat modulining ishlash muddatini uzaytirishi mumkin. Universitetlarning ilmiy-tadqiqot laboratoriyasida mikro zarrachalarni aniqlash uchun ishlatiladigan eksperimental uskunalar ko'p sonli aniq eksperimental ma'lumotlarni olish uchun uzoq vaqt davomida barqaror ishlashi uchun bir o'qli havo flotatsiyasining ultra aniqlikdagi harakat moduliga muhtoj. Granit poydevorining yuqori aşınma qarshiligi uzoq vaqt foydalanishdan keyin harakat modulining aniqligi hali ham dastlabki yuqori aniqlik darajasida saqlanishini ta'minlaydi, ilmiy tadqiqot ishlarining uzluksizligi va aniqligi uchun ishonchli kafolatni ta'minlaydi va tadqiqotchilarga mikroskopik dunyo sirini chuqur o'rganishga yordam beradi.
Granit asosli yagona eksa havo suzuvchi ultra aniq harakat moduli aniq ishlab chiqarish va ilmiy tadqiqotlar uchun aniq "navigator" ga o'xshaydi. Havoda suzuvchi harakat modulining yuqori aniqlikdagi harakati uchun mukammal barqarorligi, aşınmaya bardoshli granit bazasi yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish, optik asboblar ishlab chiqarish, yuqori darajadagi ilmiy tadqiqotlar va sohaning boshqa ko'plab aniqlik talablarini mustahkam qo'llab-quvvatlaydi, sanoatni yuqori aniqlik, yuqori sifatli yo'nalishga ko'tarishda o'zgarmas muhim rol o'ynaydi.
Yuborilgan vaqt: 2025 yil 07 aprel