Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning aniq zanjirida plastinka uzatish tizimi "chip ishlab chiqarish liniyasining hayot chizig'i" ga o'xshaydi va uning barqarorligi va aniqligi chiplarning hosildorlik tezligini bevosita belgilaydi. Yangi avlod plastinka uzatish tizimlari chiziqli motorlarni granit asoslari bilan inqilobiy tarzda birlashtiradi va granit materiallarining noyob afzalliklari yuqori samarali uzatishni ochishning asosiy kodi hisoblanadi.
Granit asos: Barqaror uzatish uchun "toshdek mustahkam poydevor" qurish
Yuz millionlab yillar davomida geologik jihatdan tozalangan granit zich va bir xil ichki mineral kristallanish xususiyatiga ega. Bu tabiiy xususiyat uni plastinka uzatish tizimlari uchun ideal asos materialiga aylantiradi. Yarimo'tkazgichli toza xonalarning murakkab muhitida, o'ta past issiqlik kengayish koeffitsientiga (atigi 5-7 × 10⁻⁶/℃) ega granit uskunaning ishlashi paytida hosil bo'ladigan issiqlikka va atrof-muhit harorati o'zgarishining ta'siriga bardosh bera oladi, bu esa asos o'lchamining barqarorligini ta'minlaydi va issiqlik deformatsiyasi natijasida hosil bo'ladigan uzatish yo'lining og'ishining oldini oladi. Uning ajoyib tebranishlarni susaytiruvchi ishlashi chiziqli motorlarni ishga tushirish, o'chirish va tezlashtirish paytida hosil bo'ladigan mexanik tebranishlarni, shuningdek, ustaxonadagi boshqa uskunalarning ishlashi natijasida yuzaga keladigan tashqi shovqinlarni tezda yutib yuborishi mumkin, plastinka uzatish uchun "nol tebranish" ga ega barqaror platformani ta'minlaydi.
Shu bilan birga, granitning kimyoviy barqarorligi uning kislota va ishqoriy reagentlar uchuvchan bo'lgan va yuqori tozalik talab qilinadigan yarimo'tkazgich ustaxonalarida korroziyaga uchramasligini yoki zanglamasligini ta'minlaydi, shu bilan materialning qarishi yoki ifloslantiruvchi moddalarning adsorbsiyasi tufayli uzatish aniqligiga ta'sirini oldini oladi. Silliq va zich sirt xususiyatlari changning yopishishini samaraliroq kamaytiradi, toza xonalarning qat'iy changsiz standartlariga javob beradi va plastinkaning ildizdan ifloslanish xavfini yo'q qiladi.
Chiziqli motorlar va granitning "oltin sheriklik" effekti
Mexanik uzatish oralig'i yo'qligi, yuqori tezlanish va yuqori javob tezligi kabi xususiyatlarga ega chiziqli motorlar plastinka uzatishga "tez, aniq va barqaror" afzalliklarini beradi. Granit asos buning uchun mustahkam va ishonchli tayanch platformasini taqdim etadi. Ikkalasi birgalikda ishlashda sakrashga erishish uchun ishlaydi. Chiziqli motor plastinka tashuvchisini granit asos yo'lida harakatga keltirganda, asosning kuchli qattiqligi va barqarorligi dvigatelning harakatlantiruvchi kuchining samarali uzatilishini ta'minlaydi, asos deformatsiyasi natijasida kuch yo'qotilishi yoki uzatish kechikishining oldini oladi.
Nanoskala aniqligiga bo'lgan talab tufayli, chiziqli motorlar submikron darajasidagi siljish boshqaruviga erishishi mumkin. Granit asoslarining yuqori aniqlikdagi ishlov berish xususiyatlari (tekislik xatolari ±1μm ichida boshqariladi) chiziqli motorlarning aniq boshqaruviga juda mos keladi va plastinka uzatish paytida joylashish xatosi ±5μm dan kam bo'lishini birgalikda ta'minlaydi. Turli xil texnologik uskunalar orasida yuqori tezlikda harakatlanish bo'ladimi yoki plastinka topshirish uchun aniq to'xtash joyi bo'ladimi, chiziqli motorlar va granit asoslarining kombinatsiyasi plastinka uzatishda "nol og'ish va nol tebranish" ni ta'minlashi mumkin.
Sanoat amaliyotini tekshirish: samaradorlik va rentabellik darajasining ikki tomonlama yaxshilanishi
Plastinka uzatish tizimini modernizatsiya qilgandan so'ng, yetakchi global yarimo'tkazgich korxonasi chiziqli motor + granit asosli yechimni qo'lladi, bu plastina uzatish samaradorligini 40% ga oshirdi, uzatish jarayonida to'qnashuv va ofset kabi nosozliklar yuzaga kelish darajasini 85% ga kamaytirdi va chiplarning umumiy hosildorlik darajasini 6% ga yaxshiladi. Ma'lumotlar ortida granit asos tomonidan ta'minlangan uzatish barqarorligi kafolati va chiziqli motorning yuqori tezlikda va aniq sinergiya effekti yotadi, bu esa plastina uzatish jarayonida yo'qotish va xatolarni sezilarli darajada kamaytiradi.
Material xususiyatlaridan tortib aniq ishlab chiqarishgacha, ishlash afzalliklaridan tortib amaliy tasdiqlashgacha, chiziqli motorlar va granit asoslarining kombinatsiyasi plastinka uzatish tizimlarining standartlarini qayta belgilab berdi. Kelajakda yarimo'tkazgich texnologiyasi 3nm va 2nm jarayonlarga o'tganda, granit materiallari o'zining almashtirib bo'lmaydigan afzalliklari bilan sanoat rivojlanishiga kuchli turtki berishda davom etadi.
Nashr vaqti: 2025-yil 14-may