Yarimo'tkazgich va optoelektronik ishlab chiqarish uskunalarida granit asosan nozik harakat platformalari, hidoyat temir yo'l asoslari, tebranish izolyatsiyasini qo'llab-quvvatlovchi tuzilmalar va optik komponentlarni o'rnatish substratlari kabi asosiy qismlarda qo'llaniladi. Ushbu qismlar aniqlik, barqarorlik va atrof-muhitga chidamlilik uchun juda yuqori talablarga ega. Granitning xarakteristikalari yarimo'tkazgich va optoelektronika sanoatining qat'iy talablariga aniq javob berishi mumkin. Quyida maxsus dastur stsenariylari va afzalliklari tahlili keltirilgan:
I. Asosiy dastur qismlari
Nozik harakat platformalari (fotolitografiya mashinalari va yopishtirish mashinalari uchun gofret platformalari kabi)
U gofretlar va optik linzalar kabi nozik komponentlarni tashish uchun ishlatiladi, nano o'lchamdagi aniqlik bilan tarjima va aylanish harakatlariga erishadi.
Odatdagi jihozlar: fotolitografiya mashinasining ish qismlari jadvali, o'lchash uskunasining joylashishni aniqlash platformasi.
Qo'llanma ray asosi va ramka tuzilishi
Chiziqli qo'llanmalar va havo flotatsiyasi yo'riqnomalari uchun o'rnatish bazasi sifatida uskunaning asosiy harakat mexanizmini qo'llab-quvvatlaydi.
Odatdagi jihozlar: yarimo'tkazgichli qadoqlash uskunasining mexanik ramkalari va optik tekshiruv asboblari.
Vibratsiyali izolyatsiyani qo'llab-quvvatlash va barqarorlashtiruvchi tuzilma
Optik tizimlar yoki nozik mexanizmlarning barqarorligini ta'minlaydigan tashqi tebranishlarni (masalan, zavod qavatidan yoki uskunaning ishlashi paytida tebranishlarni) izolyatsiya qilish uchun ishlatiladi.
Odatda stsenariylar: Optik mikroskoplar va lazer interferometrlari uchun asosiy yordam.
Optik komponentni o'rnatish substrati
Optik yo'l tizimining hizalanish aniqligining uzoq muddatli barqarorligini ta'minlash uchun nometall, prizma va lazer kabi optik qurilmalarni tuzating.
Odatda jihozlar: Optoelektron qadoqlash uskunalari, optik tolali ulash tizimlari.
Xabar vaqti: 29-may 2025-yil