Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish va nozik o'lchash asboblari kabi sohalarda granit nozik platformalarining aniqligi to'g'ridan-to'g'ri uskunaning ishlash sifatini aniqlaydi. Platformaning aniqligi standartlarga javob berishini ta'minlash uchun ikki jihatdan harakat qilish kerak: asosiy ko'rsatkichlarni aniqlash va standart me'yorlarga muvofiqlik. .
Asosiy indikatorni aniqlash: Ko'p o'lchovli aniqlikni nazorat qilish
Yassilikni aniqlash: mos yozuvlar tekisligining "tekisligi" ni aniqlash
Yassilik granit nozik platformalarining asosiy ko'rsatkichidir va u odatda lazer interferometrlari yoki elektron darajalar bilan o'lchanadi. Lazer interferometri lazer nurini chiqarish va yorug'lik interferensiyasi printsipidan foydalangan holda platforma yuzasidagi daqiqali to'lqinlarni aniq o'lchashi mumkin, bu aniqlik sub-mikron darajasiga etadi. Elektron daraja bir necha marta siljitish orqali o'lchaydi va platforma yuzasining uch o'lchovli kontur xaritasini chizib, mahalliy o'simtalar yoki chuqurliklar mavjudligini aniqlaydi. Misol uchun, yarimo'tkazgichli fotolitografiya mashinalarida ishlatiladigan granit platformalar ± 0,5 mkm / m tekislikka ega bo'lishi kerak, ya'ni 1 metr uzunlikdagi balandlik farqi yarim mikrometrdan oshmasligi kerak. Faqat yuqori aniqlikdagi aniqlash uskunalari orqali bu qat'iy standartni ta'minlash mumkin. .
2. To'g'rilikni aniqlash: chiziqli harakatning "to'g'riligi" ni ta'minlash
Nozik harakatlanuvchi qismlarga ega platformalar uchun to'g'rilik muhim ahamiyatga ega. Aniqlashning keng tarqalgan usullari sim usuli yoki lazer kolimatoridir. Tel usuli yuqori aniqlikdagi po'lat simlarni to'xtatib turish va tekislikni aniqlash uchun platforma yuzasi va po'lat simlar orasidagi bo'shliqni solishtirishni o'z ichiga oladi. Lazer kolimatori platforma yo'riqnomasining o'rnatish yuzasining chiziqli xatosini aniqlash uchun lazerning chiziqli tarqalish xususiyatlaridan foydalanadi. To'g'rilik standartga mos kelmasa, u harakat paytida uskunaning siljishiga olib keladi, bu ishlov berish yoki o'lchash aniqligiga ta'sir qiladi. .
3. Yuzaki pürüzlülüğü aniqlash: kontaktning "nozikligi" ni ta'minlang
Platformaning sirt pürüzlülüğü komponentlarni o'rnatish mosligiga ta'sir qiladi. Odatda, aniqlash uchun stilus pürüzlülüğü o'lchagich yoki optik mikroskop ishlatiladi. Stylus tipidagi asbob platforma yuzasiga nozik prob bilan tegib, mikroskopik profilning balandlik o'zgarishini qayd etadi. Optik mikroskoplar sirt teksturasini bevosita kuzatishi mumkin. Yuqori aniqlikdagi ilovalarda granit platformalarining sirt pürüzlülüğünü Ra≤0.05μm da nazorat qilish kerak, bu oynaga o'xshash effektga teng bo'lib, o'rnatish vaqtida aniq komponentlarning mahkam o'rnatilishini ta'minlaydi va bo'shliqlar tufayli tebranish yoki siljishni oldini oladi. .
Aniqlik standartlari quyidagilardan iborat: xalqaro normalar va korxonaning ichki nazorati
Hozirgi vaqtda xalqaro miqyosda ISO 25178 va GB / T 24632 standartlari odatda granit platformalarining aniqligini aniqlash uchun asos sifatida qo'llaniladi va tekislik va tekislik kabi ko'rsatkichlar uchun aniq tasniflar mavjud. Bundan tashqari, yuqori darajadagi ishlab chiqarish korxonalari ko'pincha qattiqroq ichki nazorat standartlarini o'rnatadilar. Masalan, fotolitografiya mashinasining granit platformasi uchun tekislik talabi xalqaro standartdan 30% yuqori. Sinovlarni o'tkazishda o'lchangan ma'lumotlarni tegishli standartlar bilan solishtirish kerak. Faqat standartlarga to'liq mos keladigan platformalar nozik uskunalarda barqaror ishlashni ta'minlashi mumkin. .
Granit nozik platformalarining to'g'riligini tekshirish tizimli loyihadir. Faqat tekislik, tekislik va sirt pürüzlülüğü kabi asosiy ko'rsatkichlarni qat'iy sinovdan o'tkazish va xalqaro va korxona standartlariga rioya qilish orqali platformaning yuqori aniqligi va ishonchliligi kafolatlanishi mumkin, yarimo'tkazgichlar va nozik asboblar kabi yuqori darajadagi ishlab chiqarish sohalari uchun mustahkam poydevor qo'yish mumkin.
Xabar vaqti: 21-may-2025-yil