Yarimo'tkazgichli gofretni tekshirish sohasida toza xona muhitining tozaligi mahsulot rentabelligi bilan bevosita bog'liq. Chip ishlab chiqarish jarayonlarining aniqligi yaxshilanishda davom etar ekan, aniqlash uskunalarini tashish platformalariga qo'yiladigan talablar tobora qattiqlashib bormoqda. Granit platformalari nol metall ionlarining chiqishi va past zarrachalar ifloslanishi bilan an'anaviy zanglamaydigan po'latdan yasalgan materiallardan oshib ketdi va gofretni tekshirish uskunalari uchun afzal qilingan echimga aylandi.
Granit tabiiy magmatik jins bo'lib, asosan kvarts, dala shpati va slyuda kabi metall bo'lmagan minerallardan tashkil topgan. Bu xususiyat unga nol metall ionining chiqishi afzalligini beradi. Bundan farqli o'laroq, zanglamaydigan po'lat temir, xrom va nikel kabi metallarning qotishmasi sifatida toza xonada suv bug'lari va kislotali yoki gidroksidi gazlarning eroziyasi tufayli yuzasida elektrokimyoviy korroziyaga moyil bo'lib, Fe²⁺ va Cr³⁺ kabi metall ionlarining cho'kishiga olib keladi. Ushbu mayda ionlar gofret yuzasiga yopishib olgandan so'ng, ular yarimo'tkazgich materialining elektr xususiyatlarini fotolitografiya va etching kabi keyingi jarayonlarda o'zgartiradi, tranzistorning chegara kuchlanishining o'zgarishiga olib keladi va hatto kontaktlarning zanglashiga olib keladi. Professional muassasa sinov ma'lumotlari shuni ko'rsatadiki, granit platformasi doimiy ravishda simulyatsiya qilingan toza xona harorati va namlik muhitiga (23 ± 0,5 ℃, 45% ± 5% RH) 1000 soat davomida ta'sir qilgandan so'ng, metall ionlarining chiqishi aniqlash chegarasidan (< 0,1ppb) past bo'lgan. Zanglamaydigan po'latdan yasalgan platformalardan foydalanganda metall ionlarining ifloslanishidan kelib chiqqan gofretlarning nuqson darajasi 15% dan 20% gacha bo'lishi mumkin.
Zarrachalar ifloslanishini nazorat qilish nuqtai nazaridan, granit platformalari ham juda yaxshi ishlaydi. Toza xonalarda havodagi to'xtatilgan zarrachalar kontsentratsiyasi uchun juda yuqori talablar mavjud. Masalan, ISO 1-sinfdagi toza xonalarda har bir kubometr uchun ruxsat etilgan 0,1 mkm zarrachalar soni 10 tadan oshmaydi. Zanglamaydigan po'latdan yasalgan platforma jilo bilan ishlov berilgan bo'lsa ham, u tashqi ta'sirlardan, masalan, uskunaning tebranishi va xodimlarning ishlashi natijasida metall qoldiqlari yoki oksidi po'stlog'ining tozalanishiga olib kelishi mumkin. Granit platformalari zich mineral tuzilishi (zichligi ≥2,7 g/sm³) va yuqori qattiqligi (Mohs shkalasi bo'yicha 6-7) bilan uzoq muddatli foydalanish paytida eskirish yoki sindirishga moyil emas. O'lchangan o'lchovlar shuni ko'rsatadiki, ular zanglamaydigan po'latdan yasalgan platformalar bilan solishtirganda aniqlash uskunasi maydoni havosida to'xtatilgan zarrachalar kontsentratsiyasini 40% dan ko'proq kamaytirishi mumkin, bu esa toza xona darajasi standartlarini samarali saqlab turadi.
Uning toza xususiyatlaridan tashqari, granit platformalarining keng qamrovli ishlashi ham zanglamaydigan po'latdan ancha yuqori. Issiqlik barqarorligi nuqtai nazaridan, uning termal kengayish koeffitsienti faqat (4-8) ×10⁻⁶/℃, zanglamaydigan po'latdan (taxminan 17 × 10⁻⁶/℃) yarmidan kam bo'lib, toza xonadagi harorat o'zgarganda aniqlash uskunasining joylashish aniqligini yaxshiroq saqlab turishi mumkin. Yuqori damping xarakteristikasi (damping nisbati > 0,05) uskunaning tebranishini tezda susaytiradi va aniqlash probining silkinishini oldini oladi. Uning tabiiy korroziyaga chidamliligi unga qo'shimcha qoplamani himoya qilishni talab qilmasdan, fotorezistli erituvchilar, gazlar va boshqa kimyoviy moddalar ta'sirida ham barqaror turishga imkon beradi.
Hozirgi vaqtda granit platformalar ilg'or gofret ishlab chiqarish zavodlarida keng qo'llaniladi. Ma'lumotlar shuni ko'rsatadiki, granit platformasini qabul qilgandan so'ng, gofret yuzasi zarralarini aniqlashning noto'g'ri bahosi 60% ga kamaydi, uskunani kalibrlash davri uch marta uzaytirildi va umumiy ishlab chiqarish qiymati 25% ga kamaydi. Yarimo'tkazgich sanoati yuqori aniqlikka qarab harakatlanar ekan, granit platformalar nol metall ionlari chiqishi va past zarrachalar ifloslanishi kabi asosiy afzalliklari bilan gofret tekshiruvini barqaror va ishonchli qo'llab-quvvatlashni davom ettiradi va sanoatning rivojlanishini boshqaradigan muhim kuchga aylanadi.
Xabar vaqti: 20-may-2025-yil