Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish ustaxonasida atrof-muhit sharoitlari va uskunalarning aniqligi uchun chip ishlab chiqarish jarayonining talablari haddan tashqari bo'lib, har qanday engil og'ish chip rentabelligining sezilarli pasayishiga olib kelishi mumkin. XYZT nozik portal harakat platformasi granit komponentlariga tayanib, nano o'lchamdagi aniqlikka erishish uchun mustahkam poydevor yaratish uchun platformaning boshqa qismlari bilan hamkorlik qiladi.
Ajoyib vibratsiyani blokirovkalash xususiyatlari
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish ustaxonasida periferik uskunalarning ishlashi va atrofida yuradigan xodimlar tebranishlarga olib kelishi mumkin. Granit tarkibiy qismlarining ichki tuzilishi zich va bir xil bo'lib, samarali tebranish "to'sig'i" kabi tabiiy yuqori damping xususiyatlariga ega. Tashqi tebranish XYZT platformasiga uzatilganda, granit komponenti tebranish energiyasining 80% dan ko'prog'ini samarali ravishda susaytirishi va platforma harakatining aniqligidagi tebranish aralashuvini kamaytirishi mumkin. Shu bilan birga, platforma granit komponentlari bilan birgalikda ishlaydigan yuqori aniqlikdagi havo floatini yo'naltiruvchi tizim bilan jihozlangan. Havo float yo'riqnomasi platformaning harakatlanuvchi qismlarining kontaktsiz suspenziya harakatini amalga oshirish va mexanik ishqalanish natijasida yuzaga keladigan kichik tebranishlarni kamaytirish uchun yuqori bosimli gazdan hosil bo'lgan barqaror gaz plyonkasidan foydalanadi. Ikkalasi birgalikda platformaning joylashuvi aniqligi har doim chip litografiyasi va etching kabi asosiy jarayonlarda nanometr darajasida saqlanishini ta'minlaydi va tebranish natijasida kelib chiqadigan chip sxemalarining og'ishini oldini oladi.
Ajoyib termal barqarorlik
Dastgohdagi harorat va namlikning o'zgarishi chip ishlab chiqarish uskunasining aniqligiga katta ta'sir ko'rsatadi. Granitning termal kengayish koeffitsienti juda past, odatda 5-7 × 10⁻⁶/℃ da, harorat o'zgarganda hajmi deyarli o'zgarmaydi. Dastgohda kunduzi va kechasi o'rtasidagi harorat farqi yoki uskunaning issiqlik ishlab chiqarilishi atrof-muhit haroratining o'zgarishiga olib keladigan bo'lsa ham, granit komponentlari termal kengayish va qisqarish tufayli platformaning deformatsiyasini oldini olish uchun barqaror bo'lib qolishi mumkin. Shu bilan birga, platforma bilan jihozlangan aqlli haroratni nazorat qilish tizimi atrof-muhit haroratini real vaqt rejimida kuzatib boradi, konditsioner va issiqlik tarqalish uskunasini avtomatik ravishda sozlaydi va ustaxona haroratini 20 ° C ± 1 ° S darajasida ushlab turadi. Granit issiqlik barqarorligining afzalliklari bilan birgalikda, platformaning uzoq muddatli ishlashida, har bir chipsning harakat aniqligi har doim standartga javob berishiga ishonch hosil qiling. Chip litografiyasi naqsh o'lchamining to'g'ri bo'lishini ta'minlash uchun chuqurlik chuqurligi bir xil bo'ladi.
Toza atrof-muhit ehtiyojlarini qondirish
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish sexi chang zarralari chipni ifloslanishiga yo'l qo'ymaslik uchun yuqori darajadagi tozalikni saqlashi kerak. Granit materialining o'zi chang hosil qilmaydi va sirt silliq, changni yutish oson emas. Umuman olganda, platforma tashqi changning kirib kelishini kamaytirish uchun to'liq yopiq yoki yarim yopiq struktura dizaynini qabul qiladi. Ichki havoning tozaligi chip ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan darajaga yetishini ta'minlash uchun ichki havo aylanish tizimi ustaxonaning toza konditsioner tizimi bilan bog'langan. Ushbu toza muhitda granit komponentlari chang eroziyasi tufayli ishlashga ta'sir qilmaydi va platformaning yuqori aniqlikdagi sensorlari va motorlari kabi asosiy komponentlar ham barqaror ishlashi mumkin, bu esa chip ishlab chiqarish uchun uzluksiz va ishonchli nano o'lchamdagi aniqlik kafolatini ta'minlaydi va yarimo'tkazgich sanoatining yuqori texnologik darajaga o'tishiga yordam beradi.
Yuborilgan vaqt: 2025 yil 14 aprel