Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda fotolitografiya mashinasi chiplarning aniqligini aniqlaydigan asosiy qurilma bo'lib, granit asosi o'zining ko'p qirrali xususiyatlari bilan fotolitografiya mashinasining ajralmas qismiga aylandi.
Termal barqarorlik: Harorat o'zgarishiga qarshi "qalqon"
Fotolitografiya mashinasi ishlayotganida, u katta miqdorda issiqlik hosil qiladi. Hatto haroratning atigi 0,1 ℃ tebranishi ham uskunaning tarkibiy qismlarining deformatsiyasiga olib kelishi va fotolitografiya aniqligiga ta'sir qilishi mumkin. Granitning issiqlik kengayish koeffitsienti juda past, atigi 4-8 × 10⁻⁶/℃, bu po'latning taxminan 1/3 qismiga va alyuminiy qotishmasining 1/5 qismiga teng. Bu fotolitografiya mashinasi uzoq vaqt ishlaganda yoki atrof-muhit harorati o'zgarganda granit asosining o'lchovli barqarorligini saqlab qolish imkonini beradi, bu esa optik komponentlar va mexanik tuzilmalarning aniq joylashishini ta'minlaydi.
Vibratsiyaga qarshi super ishlash: Vibratsiyani yutadigan "gubka"
Yarimo'tkazgichlar zavodida atrofdagi uskunalarning ishlashi va odamlarning harakati tebranishlarni keltirib chiqarishi mumkin. Granit yuqori zichlikka va qattiq tuzilishga ega bo'lib, u ajoyib amortizatsiya xususiyatlariga ega, amortizatsiya nisbati metallarnikidan 2 dan 5 baravargacha. Tashqi tebranishlar granit asosiga uzatilganda, ichki mineral kristallari orasidagi ishqalanish tebranish energiyasini tarqalish uchun issiqlik energiyasiga aylantiradi, bu esa qisqa vaqt ichida tebranishni sezilarli darajada kamaytirishi mumkin, bu esa fotolitografiya mashinasiga tezda barqarorlikni tiklash va tebranish tufayli fotolitografiya naqshining xiralashishi yoki noto'g'ri joylashishining oldini olish imkonini beradi.
Kimyoviy barqarorlik: Toza muhitning "himoyachisi"
Fotolitografiya mashinasining ichki qismi turli xil kimyoviy muhitlar bilan aloqa qiladi va oddiy metall materiallar korroziyaga yoki zarrachalarning ajralib chiqishiga moyil. Granit kvarts va dala shpati kabi minerallardan iborat. U barqaror kimyoviy xususiyatlarga va kuchli korroziyaga chidamlilikka ega. Kislota va ishqor eritmalariga singdirilgandan so'ng, sirt korroziyasi juda kichik bo'ladi. Shu bilan birga, uning zich tuzilishi deyarli hech qanday axlat yoki chang hosil qilmaydi, bu eng yuqori toza xona standartlari talablariga javob beradi va plastinka ifloslanish xavfini kamaytiradi.
Qayta ishlashga moslashuvchanlik: Aniq mezonlarni yaratish uchun "ideal material"
Fotolitografiya mashinasining asosiy komponentlari yuqori aniqlikdagi mos yozuvlar yuzasiga o'rnatilishi kerak. Granitning ichki tuzilishi bir xil va uni silliqlash, abrazivlash va boshqa texnikalar orqali juda yuqori aniqlikda qayta ishlash oson. Uning tekisligi ≤0,5 μm/m ga yetishi mumkin va sirt pürüzlülüğü Ra ≤0,05 μm bo'lib, optik linzalar kabi komponentlar uchun aniq o'rnatish asosini ta'minlaydi.
Uzoq xizmat muddati va texnik xizmat ko'rsatishni talab qilmaydi: Xarajatlarni kamaytirish uchun "o'tkir vositalar"
Uzoq muddatli foydalanish paytida charchash va yorilishga moyil bo'lgan metall materiallar bilan taqqoslaganda, granit oddiy yuk ostida deyarli plastik deformatsiyaga yoki sinishlarga uchramaydi va sirtni qayta ishlashni talab qilmaydi, bu esa qoplamaning tozalanishi va ifloslanishi xavfini oldini oladi. Amaliy qo'llanmalarda, ko'p yillar davomida ishlatilgandan so'ng, granit asosining asosiy ishlash ko'rsatkichlari barqaror bo'lib qolishi mumkin, bu esa uskunaning ishlashi va texnik xizmat ko'rsatish xarajatlarini kamaytiradi.
Granit asosining termal barqarorlikdan tortib, tebranish qarshiligidan tortib, kimyoviy inertlikka qadar ko'p qirrali xususiyatlari fotolitografiya mashinasining talablariga to'liq javob beradi. Chip ishlab chiqarish jarayoni yuqori aniqlik sari rivojlanib borishi bilan granit asoslari yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish sohasida o'rnini bosuvchi rol o'ynashda davom etadi.
Nashr vaqti: 2025-yil 20-may