Yarimo'tkazgich ishlab chiqarishda fotolitografiya mashinasi chiplarning aniqligini aniqlaydigan asosiy qurilma bo'lib, granit asosi o'zining bir nechta xususiyatlari bilan fotolitografiya mashinasining ajralmas qismiga aylandi.
Termal barqarorlik: harorat o'zgarishiga qarshi "qalqon"
Fotolitografiya mashinasi ishlaganda katta miqdorda issiqlik hosil qiladi. Hatto atigi 0,1 ℃ haroratning o'zgarishi ham uskunaning tarkibiy qismlarining deformatsiyasiga olib kelishi va fotolitografiyaning aniqligiga ta'sir qilishi mumkin. Granitning termal kengayish koeffitsienti juda past, faqat 4-8 × 10⁻⁶/℃, bu po'latning taxminan 1/3 qismini va alyuminiy qotishmasining 1/5 qismini tashkil qiladi. Bu fotolitografiya mashinasi uzoq vaqt ishlaganda yoki atrof-muhit harorati o'zgarganda, optik komponentlar va mexanik tuzilmalarning aniq joylashishini ta'minlaydigan granit asosiga o'lchamli barqarorlikni saqlashga imkon beradi.
Super tebranishga qarshi ishlash: tebranishlarni yutuvchi "gubka"
Yarimo'tkazgichlar zavodida atrofdagi uskunalarning ishlashi va odamlarning harakati tebranishlarni keltirib chiqarishi mumkin. Granit yuqori zichlik va qattiq tuzilishga ega va u mukammal damping xususiyatlariga ega, damping nisbati metallarga nisbatan 2 dan 5 baravar yuqori. Tashqi tebranishlar granit bazasiga uzatilganda, ichki mineral kristallar orasidagi ishqalanish tebranish energiyasini tarqalish uchun issiqlik energiyasiga aylantiradi, bu qisqa vaqt ichida tebranishlarni sezilarli darajada kamaytirishi mumkin, bu fotolitografiya mashinasining barqarorligini tezda tiklashga va tebranish tufayli fotolitografiya naqshining xiralashishiga yoki noto'g'ri hizalanishiga yo'l qo'ymaydi.
Kimyoviy barqarorlik: toza muhitning "qo'riqchisi"
Fotolitografiya mashinasining ichki qismi turli xil kimyoviy vositalar bilan aloqa qiladi va oddiy metall materiallar korroziyaga yoki zarrachalarni chiqarishga moyil. Granit kvarts va dala shpati kabi minerallardan tashkil topgan. Barqaror kimyoviy xususiyatlarga va kuchli korroziyaga chidamliligiga ega. Kislota va ishqor eritmalarida namlangandan so'ng, sirt korroziyasi juda kichikdir. Shu bilan birga, uning zich tuzilishi deyarli hech qanday axlat yoki chang hosil qilmaydi, eng yuqori toza xona standartlari talablariga javob beradi va gofret bilan ifloslanish xavfini kamaytiradi.
Qayta ishlashga moslashish: aniq mezonlarni yaratish uchun "ideal material"
Fotolitografiya mashinasining asosiy komponentlari yuqori aniqlikdagi mos yozuvlar yuzasiga o'rnatilishi kerak. Granitning ichki tuzilishi bir xil bo'lib, silliqlash, parlatish va boshqa usullar orqali juda yuqori aniqlikka ishlov berish oson. Uning tekisligi ≤0,5 mkm / m ga yetishi mumkin va sirt pürüzlülüğü Ra ≤0,05 mkm bo'lib, optik linzalar kabi komponentlar uchun aniq o'rnatish asosini ta'minlaydi.
Uzoq umr va texnik xizmat ko'rsatmaydi: xarajatlarni kamaytirish uchun "o'tkir asboblar"
Uzoq muddatli foydalanishda charchoqqa va yorilishga moyil bo'lgan metall materiallar bilan solishtirganda, granit oddiy yuk ostida deyarli plastik deformatsiyaga yoki sinishga duchor bo'lmaydi va u sirtni tozalashni talab qilmaydi, shuning uchun qoplamani tozalash va ifloslanish xavfidan qochadi. Amaliy qo'llanmalarda, ko'p yillar davomida ishlatilgandan so'ng, granit bazasining asosiy ishlash ko'rsatkichlari hali ham barqaror bo'lib qolishi mumkin, bu esa uskunani ishlatish va texnik xizmat ko'rsatish xarajatlarini kamaytiradi.
Termal barqarorlikdan, tebranish qarshiligidan kimyoviy inertlikka qadar, granit bazasining ko'plab xususiyatlari fotolitografiya mashinasining talablariga mukammal javob beradi. Chip ishlab chiqarish jarayoni yuqori aniqlikka qarab rivojlanishda davom etar ekan, granit asoslari yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish sohasida o'zgarmas rol o'ynashda davom etadi.
Xabar vaqti: 20-may-2025-yil