.
Yarimo'tkazgich ishlab chiqarish sohasida chip ishlab chiqarish jarayonining aniqligini aniqlaydigan asosiy uskuna sifatida fotolitografiya mashinasining ichki muhitining barqarorligi hayotiy ahamiyatga ega. Haddan tashqari ultrabinafsha yorug'lik manbasining qo'zg'alishidan nano o'lchamdagi aniq harakat platformasining ishlashigacha, har bir havolada eng kichik og'ish bo'lishi mumkin emas. Bir qator noyob xususiyatlarga ega bo'lgan granit asoslari fotolitografiya mashinalarining barqaror ishlashini ta'minlash va fotolitografiya aniqligini oshirishda mislsiz afzalliklarni namoyish etadi. .
Ajoyib elektromagnit ekranlash ishlashi
Fotolitografiya mashinasining ichki qismi murakkab elektromagnit muhit bilan to'ldirilgan. Haddan tashqari ultrabinafsha yorug'lik manbalari, haydovchi motorlar va yuqori chastotali quvvat manbalari kabi komponentlar tomonidan yaratilgan elektromagnit parazit (EMI), agar samarali nazorat qilinmasa, uskuna ichidagi nozik elektron komponentlar va optik tizimlarning ishlashiga jiddiy ta'sir qiladi. Masalan, interferensiya fotolitografiya naqshlarida ozgina og'ishlarga olib kelishi mumkin. Ilg'or ishlab chiqarish jarayonlarida bu chipdagi noto'g'ri tranzistorli ulanishlarga olib kelishi uchun etarli bo'lib, chipning rentabelligini sezilarli darajada kamaytiradi. .
Granit metall bo'lmagan materialdir va o'z-o'zidan elektr tokini o'tkazmaydi. Metall materiallarda bo'lgani kabi, ichkarida erkin elektronlar harakati natijasida yuzaga keladigan elektromagnit induksiya hodisasi yo'q. Bu xususiyat uni tabiiy elektromagnit himoya qiluvchi korpusga aylantiradi, bu ichki elektromagnit parazitlarning uzatish yo'lini samarali ravishda blokirovka qilishi mumkin. Tashqi elektromagnit shovqin manbai tomonidan hosil bo'lgan o'zgaruvchan magnit maydon granit asosiga tarqalganda, granit magnit bo'lmaganligi va magnitlanishi mumkin emasligi sababli, o'zgaruvchan magnit maydonning kirib borishi qiyin bo'ladi va shu bilan poydevorga o'rnatilgan fotolitografiya mashinasining asosiy qismlarini himoya qiladi, masalan, aniqlik sensorlari va elektromagnit moslamalarning optik ta'siridan himoya qiladi. fotolitografiya jarayonida naqshni uzatishning aniqligi. .
Ajoyib vakuum mosligi
Haddan tashqari ultrabinafsha nurlar (EUV) barcha moddalar, shu jumladan havo tomonidan osongina so'rilishi sababli, EUV litografiya mashinalari vakuum muhitida ishlashi kerak. Ayni paytda uskunaning tarkibiy qismlarining vakuum muhiti bilan muvofiqligi ayniqsa muhim bo'ladi. Vakuumda materiallar erishi, desorbsiyasi va gazni chiqarishi mumkin. Chiqarilgan gaz nafaqat EUV nurini o'zlashtiradi, yorug'likning intensivligi va uzatish samaradorligini pasaytiradi, balki optik linzalarni ham ifloslantirishi mumkin. Masalan, suv bug'lari linzalarni oksidlashi mumkin va uglevodorodlar linzalarda uglerod qatlamlarini to'plashi mumkin, bu esa litografiya sifatiga jiddiy ta'sir qiladi. .
Granit barqaror kimyoviy xususiyatlarga ega va vakuum muhitida gazni deyarli chiqarmaydi. Professional sinovlarga ko'ra, simulyatsiya qilingan fotolitografiya mashinasi vakuum muhitida (masalan, asosiy kameradagi yorug'lik optik tizimi va tasvirlash optik tizimi joylashgan, H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ ni talab qiladigan o'ta toza vakuum muhiti kabi), past pasayish darajasi juda past. metallar kabi boshqa materiallarga qaraganda. Bu fotolitografiya mashinasining ichki qismini uzoq vaqt davomida yuqori vakuum darajasi va tozaligini saqlab turishga imkon beradi, uzatish paytida EUV nurining yuqori o'tkazuvchanligini va optik linzalar uchun ultra toza foydalanish muhitini ta'minlaydi, optik tizimning ishlash muddatini uzaytiradi va fotolitografiya mashinasining umumiy ish faoliyatini oshiradi. .
Kuchli tebranish qarshiligi va termal barqarorlik
Fotolitografiya jarayonida nanometr darajasidagi aniqlik, fotolitografiya mashinasining eng kichik tebranish yoki termal deformatsiyaga ega bo'lmasligini talab qiladi. Boshqa asbob-uskunalarning ishlashi va ustaxonadagi xodimlar harakati natijasida hosil bo'ladigan atrof-muhit tebranishlari, shuningdek, fotolitografiya mashinasining ish paytida ishlab chiqargan issiqliklari fotolitografiyaning aniqligiga xalaqit berishi mumkin. Granit yuqori zichlik va qattiq tuzilishga ega va u mukammal tebranish qarshiligiga ega. Uning ichki mineral kristall tuzilishi ixcham bo'lib, tebranish energiyasini samarali ravishda susaytiradi va tebranish tarqalishini tezda bostiradi. Eksperimental ma'lumotlar shuni ko'rsatadiki, bir xil tebranish manbai ostida granit bazasi 0,5 soniya ichida tebranish amplitudasini 90% dan ko'proq kamaytirishi mumkin. Metall taglik bilan solishtirganda, u uskunaning barqarorligini tezroq tiklashi mumkin, fotolitografiya linzalari va gofret o'rtasidagi aniq nisbiy pozitsiyani ta'minlaydi va tebranish natijasida paydo bo'lgan naqshning xiralashishi yoki noto'g'ri joylashishini oldini oladi. .
Shu bilan birga, granitning termal kengayish koeffitsienti juda past, taxminan (4-8) ×10⁻⁶/℃, bu metall materiallarnikidan ancha past. Fotolitografiya mashinasining ishlashi vaqtida yorug'lik manbasidan issiqlik hosil bo'lishi va mexanik komponentlardan ishqalanish kabi omillar tufayli ichki harorat o'zgarib tursa ham, granit asosi o'lchov barqarorligini saqlab qolishi mumkin va termal kengayish va qisqarish tufayli sezilarli deformatsiyaga uchramaydi. Bu fotolitografiya aniqligining izchilligini saqlab, optik tizim va aniq harakat platformasi uchun barqaror va ishonchli yordam beradi.
Xabar vaqti: 20-may-2025-yil