Yuqori darajadagi ishlab chiqarish va ilg'or ilmiy tadqiqotlar sohasida havo suzgichining ultra aniq harakat moduli o'zining ajoyib aniqlik ko'rsatkichlari bilan nozik ishlash va o'lchash uchun asosiy uskunaga aylandi. Granit aniqlik asosi, tayanch yadrosi sifatida, ish muhiti uchun qat'iy talablarga ega va mos atrof-muhit sharoitlari uning barqaror ishlashi va eng yaxshi samarasini ta'minlash uchun asosdir.
Birinchidan, haroratni nazorat qilish: aniq "stabilizator"
Granit o'zining barqarorligi bilan mashhur bo'lsa-da, u harorat o'zgarishiga to'liq immunitetga ega emas. Uning issiqlik kengayish koeffitsienti past bo'lsa-da, odatda 5-7 × 10⁻⁶/℃, ultra aniq harakatni boshqarish stsenariylarida nozik harorat tebranishlari hali ham o'lchovli o'zgarishlarga olib kelishi va modul aniqligiga ta'sir qilishi mumkin. Yarimo'tkazgich chip ishlab chiqarish ustaxonasida litografiya jarayoni danami darajasidagi joylashish aniqligini talab qiladi va atrof-muhit harorati 1 ° C ga o'zgaradi va yon uzunligi 1 metr bo'lgan granit asos 5-7 mikron chiziqli kengayish yoki qisqarishni keltirib chiqarishi mumkin. Bu kichik o'zgarish havo suzgichining ultra aniq harakat moduli tomonidan uzatiladi, bu chip litografiyasi naqshining og'ishini keltirib chiqarish va hosilni sezilarli darajada kamaytirish uchun etarli. Shuning uchun, havoda suzuvchi ultra aniq harakat modulining granit aniqlikdagi bazasi bilan jihozlangan holda, ideal ish muhiti harorati 20 ° C ± 1 ° C da boshqarilishi kerak, bunda doimiy harorat va namlik konditsioner tizimi kabi yuqori aniqlikdagi doimiy harorat uskunalari, atrof-muhit haroratini doimiy monitoring qilish va sozlash, harorat o'zgarishi juda kichik diapazonda bo'lishini ta'minlash, taglik o'lchamining barqarorligini saqlash va modulning yuqori aniqlikdagi ishlashini ta'minlash kerak.
Ikkinchidan, namlikni boshqarish: namlikdan himoya qiluvchi "tosh"ning kaliti
Namlik aniq granit asosining ishlashiga ta'sir qiluvchi yana bir muhim omil hisoblanadi. Yuqori namlik muhitida granit suv bug'ini oson yutadi, bu esa sirtda kondensatsiyaga olib kelishi mumkin, bu nafaqat granit va havo suzgichining o'ta aniq harakat modulining ulanish barqarorligiga ta'sir qiladi, balki sirt eroziyasiga olib kelishi va uzoq muddatda porlash va aniqlikni pasaytirishi mumkin. Optik linzalarni silliqlash ustaxonasida, agar namlik uzoq vaqt davomida 60% dan yuqori bo'lsa, granit asosining yuzasida so'rilgan suv bug'i gaz suzgich slayderining harakatiga xalaqit beradi, natijada linzalarni silliqlash aniqligi pasayadi va sirt nuqsonli bo'ladi. Shuning uchun, ish muhitining nisbiy namligi 40%-60% gacha bo'lgan darajada qat'iy nazorat qilinishi kerak, bu esa yuqori namlik tufayli granit asosiga shikast yetkazmaslik uchun namlikni pasaytirgichlar, namlik sensorlari va boshqa uskunalarni o'rnatish orqali real vaqt rejimida kuzatilishi va sozlanishi mumkin va havo suzgichining o'ta aniq harakat modulining uzluksiz ishlashini ta'minlaydi.
Uchinchidan, tozalik kafolati: aniqlikning "qo'riqchisi"
Havo flotatsiyasining ultra aniq harakat modulining aniq granit asosiga chang zarralarining zararini kam baholab bo'lmaydi. Kichik zarrachalar gaz plyonkasi slayderi va granit asos orasidagi gaz plyonkasi bo'shlig'iga kirgandan so'ng, ular gaz plyonkasining bir xilligini buzishi, ishqalanishni oshirishi va hatto asos yuzasini tirnashi mumkin, natijada harakat aniqligi pasayadi. Aerokosmik qismlarning ultra aniq ishlov berish ustaxonasida, agar havodagi chang zarralari granit asosga tushsa, ishlov berish asbobining harakat traektoriyasi og'ishi mumkin, bu esa qismlarning ishlov berish aniqligiga ta'sir qiladi. Shuning uchun, ish maydoni yuqori samarali havo filtrlari (HEPA) kabi havo tozalash uskunalarini o'rnatish orqali yuqori darajada toza bo'lishi, 10 000 yoki undan ham yuqori tozalik standartlariga erishishi, havodagi chang zarralarini filtrlashi, shu bilan birga, xodimlar odamlar tomonidan olib kelingan changni kamaytirish uchun changsiz kiyimlar, poyabzal qoplamalari va boshqalarni kiyishlari kerak. Granit asos va havo floti ultra aniq harakat modulining yuqori aniqlikdagi ish muhitini saqlang.
To'rtinchidan, tebranish izolyatsiyasi: "zarba padining" uzluksiz ishlashi
Tashqi tebranish havo suzgichining ultra aniq harakat modulining aniqligining dushmanidir. Aniq granit asos ma'lum bir tebranishni susaytiradigan qobiliyatga ega bo'lsa-da, yuqori kuchli tebranish hali ham uning bufer chegarasini buzishi mumkin. Zavod atrofidagi transport va katta mexanik uskunalarning ishlashi natijasida hosil bo'lgan tebranish yer orqali granit asosga uzatiladi, bu esa havo suzgichining ultra aniq harakat modulining harakat aniqligiga xalaqit beradi. Yuqori darajadagi CMMda tebranish o'lchash zondi va o'lchanadigan ish qismi o'rtasidagi aloqaning beqaror bo'lishiga olib kelishi mumkin, bu esa o'lchov ma'lumotlarining og'ishiga olib keladi. Ushbu muammoni hal qilish uchun uskunani o'rnatish joyiga tebranish izolyatsiya yostiqchalarini yotqizish, tebranish izolyatsiya poydevorini qurish yoki tashqi tebranishni faol ravishda qoplash uchun faol tebranish izolyatsiya tizimidan foydalanish kabi samarali tebranish izolyatsiya choralarini ko'rish kerak va granit aniq asos va havo suzgichining ultra aniq harakat moduli uchun tinch va barqaror ish muhitini yaratish kerak.
Faqat harorat, namlik, tozalik va tebranishlarni boshqarish kabi ekologik talablarga to'liq javob berish orqali, havo suzgichining ultra aniq harakat modulining granit aniqlik asosi uning ishlash afzalliklaridan to'liq foydalanishi, turli sohalarda ultra aniq operatsiyalar uchun ishonchli kafolat berishi va sanoatning yuqori aniqlikdagi ishlab chiqarish va ilmiy tadqiqot darajasiga o'tishiga yordam berishi mumkin.
Joylashtirilgan vaqt: 2025-yil 8-aprel