Yuqori darajadagi ishlab chiqarish va ilg'or ilmiy tadqiqotlar sohasida havo floatining o'ta aniqlikdagi harakat moduli o'zining mukammal aniq ishlashi bilan nozik ishlash va o'lchash uchun asosiy uskunaga aylandi. Granit nozik bazasi, qo'llab-quvvatlash yadrosi sifatida, ish muhiti uchun qat'iy talablarga ega va tegishli atrof-muhit sharoitlari uning barqaror ishlashi va eng yaxshi ta'sirini ta'minlash uchun asosdir.
Birinchidan, haroratni nazorat qilish: nozik "stabilizator"
Granit o'zining barqarorligi bilan mashhur bo'lsa-da, u harorat o'zgarishiga to'liq immunitetga ega emas. Uning issiqlik kengayish koeffitsienti past bo'lsa-da, odatda 5-7 × 10⁻⁶/℃, o'ta aniqlikdagi harakatni boshqarish stsenariylarida, nozik harorat o'zgarishlari hali ham o'lchov o'zgarishiga olib kelishi va modulning aniqligiga ta'sir qilishi mumkin. Yarimo'tkazgich chiplarini ishlab chiqarish ustaxonasida litografiya jarayoni danami darajasida joylashishni aniqlash aniqligini talab qiladi va atrof-muhit harorati 1 ° C ga o'zgarib turadi va yon uzunligi 1 metr bo'lgan granit poydevori 5-7 mikron chiziqli kengayish yoki qisqarishni keltirib chiqarishi mumkin. Ushbu kichik o'zgarish havo floatining o'ta aniq harakat moduli tomonidan uzatiladi, bu chip litografiya naqshining og'ishini amalga oshirish va hosilni sezilarli darajada kamaytirish uchun etarli. Shuning uchun, havoda suzuvchi ultra aniqlikdagi harakat modulining granit nozik asosi bilan jihozlangan, ideal ish muhiti harorati 20 ° C ± 1 ° C da nazorat qilinishi kerak, yuqori aniqlikdagi doimiy harorat uskunalari, masalan, doimiy harorat va namlik konditsioner tizimi, doimiy monitoring va atrof-muhit haroratini sozlash, haroratning barqarorligini ta'minlash uchun modulning juda kichik o'zgarishini ta'minlash uchun modul o'lchamlari. yuqori aniqlikdagi operatsiya.
Ikkinchidan, namlikni boshqarish: namlikdan himoya qilishning kaliti "tosh"
Namlik nozik granit bazasining ishlashiga ta'sir qiluvchi yana bir muhim omil hisoblanadi. Yuqori namlikli muhitda granit suv bug'ini oson singdiradi, bu esa sirtda kondensatsiyaga olib kelishi mumkin, bu nafaqat granitning ulanish barqarorligiga va havo floatining o'ta aniq harakat moduliga ta'sir qiladi, balki sirt eroziyasini keltirib chiqarishi va uzoq muddatda yorqinligi va aniqligini kamaytirishi mumkin. Optik linzalarni silliqlash ustaxonasida namlik uzoq vaqt davomida 60% RH dan yuqori bo'lsa, granit asosining yuzasida adsorbsiyalangan suv bug'lari gaz float slayderining harakatiga xalaqit beradi, shuning uchun linzalarni silliqlash aniqligi kamayadi va sirt nuqsonli bo'ladi. Shu sababli, ish muhitining nisbiy namligi 40% -60% RH oralig'ida qat'iy nazorat qilinishi kerak, bu yuqori namlik tufayli granit poydevoriga zarar etkazmaslik uchun namlagichlar, namlik sensorlari va boshqa uskunalarni o'rnatish orqali real vaqtda kuzatilishi va sozlanishi va havo floatining ultra aniq harakat modulining silliq ishlashini ta'minlash.
Uchinchidan, tozalik kafolati: aniqlikning "qo'riqchisi"
Havo flotatsiyasining o'ta aniq harakat modulining nozik granit bazasiga chang zarralarining zararini e'tiborsiz qoldirib bo'lmaydi. Kichkina zarrachalar gaz plyonkasi bo'shlig'iga gaz float slayderi va granit poydevori o'rtasidagi gaz plyonkasi bo'shlig'iga kirgandan so'ng, ular gaz plyonkasining bir xilligini buzishi, ishqalanishni kuchaytirishi va hatto taglikning sirtini chizishlari mumkin, bu esa harakatning aniqligini pasaytiradi. Aerokosmik qismlarning o'ta nozik ishlov berish ustaxonasida, agar havodagi chang zarralari granit asosga tushib qolsa, ishlov berish asbobining harakat traektori chetga chiqishi mumkin, bu qismlarni qayta ishlashning aniqligiga ta'sir qiladi. Shu sababli, ish joyini yuqori samarali havo filtrlari (HEPA) kabi havo tozalash uskunalarini o'rnatish orqali yuqori darajada toza bo'lishi kerak, 10 000 yoki undan yuqori darajadagi tozalik standartlari, havodagi chang zarralarini filtrlash, shu bilan birga, odamlar tomonidan olib kelingan changni kamaytirish uchun xodimlar changsiz kiyim, poyafzal qopqog'i va hokazo kiyishlari kerak. Granit bazasi va havo floatining ultra aniqlikdagi harakat modulining yuqori aniqlikdagi ish muhitini saqlang.
To'rt, tebranish izolyatsiyasi: "zarba pedi" ning silliq ishlashi
Tashqi tebranish havo floatining o'ta aniqlikdagi harakat modulining aniqligining dushmanidir. Nozik granit bazasi ma'lum bir tebranish susaytirish qobiliyatiga ega bo'lsa-da, yuqori kuchli tebranish hali ham bufer chegarasini buzishi mumkin. Zavod atrofidagi transport harakati va yirik mexanik uskunalarning ishlashi natijasida hosil bo'lgan tebranish yer orqali granit poydevoriga uzatiladi, bu esa havo floatining o'ta aniq harakat modulining harakat aniqligiga xalaqit beradi. Yuqori darajali CMMda tebranish o'lchov probi va o'lchanadigan ish qismi o'rtasidagi aloqani beqaror bo'lishiga olib kelishi mumkin, bu esa o'lchov ma'lumotlarining og'ishiga olib keladi. Ushbu muammoni hal qilish uchun uskunani o'rnatish maydonida tebranish izolyatsiyasi yostiqchalarini yotqizish, tebranish izolyatsiyasi poydevorini qurish yoki tashqi tebranishlarni faol ravishda bartaraf etish uchun faol tebranish izolyatsiyalash tizimidan foydalanish va granit nozik bazasi va ultra-precision havo float moduli uchun tinch va barqaror ish muhitini yaratish kabi samarali tebranish izolyatsiyasi choralarini ko'rish kerak.
Faqat harorat, namlik, tozalik va tebranishlarni nazorat qilish bo'yicha atrof-muhit talablariga to'liq javob bergan holda, havo floatining o'ta aniq harakat modulining granit nozik bazasi uning ishlash afzalliklariga to'liq o'ynashi mumkin, turli sohalarda o'ta aniq operatsiyalar uchun ishonchli kafolat beradi va sanoatning yuqori aniqlikdagi ishlab chiqarish va ilmiy tadqiqot darajasiga o'tishiga yordam beradi.
Yuborilgan vaqt: 2025 yil 08 aprel