Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda aniqlik inqilobi: Granit mikron texnologiyasi bilan uchrashganda
1.1 Materialshunoslikda kutilmagan kashfiyotlar
SEMI Xalqaro Yarimo'tkazgichlar Assotsiatsiyasining 2023-yilgi hisobotiga ko'ra, dunyodagi ilg'or fabrikalarning 63 foizi an'anaviy metall platformalar o'rniga granit asoslaridan foydalanishni boshladi. Yerning chuqur qatlamlarida magma kondensatsiyasidan kelib chiqqan bu tabiiy tosh o'zining noyob fizik xususiyatlari tufayli yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish tarixini qayta yozmoqda:
Termal inertsiya afzalligi: granitning 4.5 × 10⁻⁶/℃ issiqlik kengayish koeffitsienti zanglamaydigan po'latning atigi 1/5 qismiga teng va litografiya mashinasining uzluksiz ishlashida ±0.001 mm o'lchovli barqarorlik saqlanadi.
Vibratsiyani pasaytirish xususiyatlari: ichki ishqalanish koeffitsienti quyma temirnikidan 15 baravar yuqori, uskunaning mikro-tebranishini samarali ravishda yutadi
Nol magnitlanish tabiati: lazer o'lchovidagi magnit xatoni butunlay yo'q qiladi
1.2 Menikidan fabrikagacha bo'lgan metamorfoz sayohati
Misol tariqasida, Shandongdagi ZHHIMG aqlli ishlab chiqarish bazasini olsak, xom granitning bir qismi quyidagilardan o'tishi kerak:
Ultra aniq ishlov berish: 200 soatlik uzluksiz frezalash uchun besh o'qli bog'lanishli ishlov berish markazi, sirt pürüzlülüğü Ra0.008μm gacha
Sun'iy qarish bilan davolash: doimiy harorat va namlik ustaxonasida 48 soatlik tabiiy stressni yo'qotish, bu mahsulotning barqarorligini 40% ga yaxshilaydi.
Ikkinchidan, yarimo'tkazgich ishlab chiqarishning "tosh eritmasi" ning oltita aniqlik muammolarini yeching.
2.1 Plastinka parchalanish tezligini kamaytirish sxemasi
Misol namoyishi: Germaniyadagi chip quyish zavodi bizning gazli suzuvchi granit platformamizni qabul qilgandan so'ng:
| Gofret diametri | chip tezligini pasaytirish | tekislikni yaxshilash |
| 12 dyuym | 67% | ≤0.001 mm |
| 18 dyuym | 82% | ≤0.0005 mm |
2.2 Litografik hizalanish aniqligining yutuq sxemasi
Haroratni qoplash tizimi: o'rnatilgan keramik sensor real vaqt rejimida shakl o'zgaruvchisini kuzatib boradi va platformaning qiyalikini avtomatik ravishda sozlaydi
O'lchangan ma'lumotlar: 28℃±5℃ tebranishi ostida, joylashtirish aniqligi 0,12μm dan kam o'zgaradi
Nashr vaqti: 2025-yil 24-mart