Yuqori aniqlikdagi ishlab chiqarish dunyosida — bardoshlilik 5 mikrondan pastga tushadigan va sirt qoplamalari optik sifatga yaqinlashadigan — biz tayanadigan asboblar an'analardan tashqariga chiqishi kerak. O'nlab yillar davomida po'lat va granit metrologiya sohasida ustunlik qilgan. Ammo yarimo'tkazgich uskunalari, aerokosmik optika va tibbiy mikro-qurilmalar kabi sohalar hatto termal siljish yoki mikroskopik aşınma ham qabul qilib bo'lmaydigan xatolarni keltirib chiqaradigan sohalarga kirib borar ekan, yangi turdagi mos yozuvlar asboblari paydo bo'lmoqda: metall yoki toshdan emas, balki ilg'or texnik keramikadan yasalgan asboblar.
ZHHIMG da biz shunchaki taklif qilishdan tashqariga chiqdikKeramik tekis o'lchagichyoki Keramik kvadrat o'lchagich mahsulotlari. Biz to'g'ri qirraning nima bo'lishi mumkinligini qayta belgilamoqdamiz — ultra barqaror keramik materiallarni zamonaviy dizayn bilan birlashtirish orqali, jumladan, nanometr darajasidagi takrorlanuvchanlikni ta'minlab, mexanik kontaktni butunlay yo'q qiladigan yechim bo'lgan innovatsion Custom Ceramic havoda suzuvchi o'lchagichimizni ham.
Nima uchun keramika? Javob molekulyar darajadan boshlanadi. Harorat bilan sezilarli darajada kengayadigan po'latdan yoki barqarorligiga qaramay, g'ovak va heterojen bo'lib qoladigan granitdan farqli o'laroq, tsirkoniy bilan mustahkamlangan alumina (ZTA) va kremniy nitridi kabi muhandislik keramikalari nolga yaqin g'ovaklikka, ajoyib qattiqlikka (1400–1800 HV) va 3–4 µm/m·°C gacha bo'lgan issiqlik kengayish koeffitsientlariga ega. Bu shuni anglatadiki, ZHHIMG dan olingan keramik tekis qirrali keramika an'anaviy asboblarni bir necha mikronga buzib ko'rsatadigan harorat o'zgarishida o'z geometriyasini saqlab qoladi.
Lekin materialning o'zi yetarli emas. Bizning keramik o'lchagichlarimizni chinakam ajratib turadigan narsa bu ularning ishlab chiqarish aniqligidir. ISO 5-sinf toza xonalarida olmos silliqlash, subapertura abrazivlash va lazer interferometrik validatsiyasidan foydalanib, biz 500 mm dan ortiq 0,8 µm dan yuqori to'g'rilikka chidamlilikka erishamiz - bu nafaqat yetkazib berish paytida tasdiqlangan, balki NIST va PTB standartlariga muvofiq kuzatiladigan to'liq kalibrlash hisobotlarida hujjatlashtirilgan. Har birKeramik kvadrat o'lchagichelektron avtokollimatsiya orqali perpendikulyarlik sinovidan o'tadi, bu esa burchaklarning 1 yoy-sekund ichida saqlanishini ta'minlaydi (100 mm da ≈0,5 µm og'ish).
Bu nazariy xususiyatlar emas. Ular endi murosaga kela olmaydigan mijozlar uchun operatsion realliklardir. Yetakchi EUV litografiya komponentlari yetkazib beruvchisi endi bizning Keramik To'g'ri O'lchagichimizdan faqat oyna tayanch ramkalarini tekislash uchun foydalanadi. "Po'lat o'lchagichlar uzoq ekspozitsiya sikllari davomida egilib qoladi", dedi ularning bosh metrologi bizga. "Granit zarrachalarni ushlab oldi. Keramik versiyasi? U 18 oy davomida barqaror edi - qayta kalibrlash shart emas."
Shunga qaramay, hatto mukammal geometriya ham teginish orqali buzilishi mumkin. Chizgichni sirt bo'ylab sudrab boring, shunda siz mikrotirnalishlar, moy plyonkasi aralashuvi yoki elastik deformatsiya xavfini tug'dirasiz - ayniqsa yumshoq metallar yoki jilolangan optikada. ZHHIMG innovatsiyasi Custom Ceramic havoda suzuvchi chizg'ich bilan aynan shu yerda oldinga siljiydi.
Bu shunchaki teshiklari burg'ulangan keramik tekis qirra emas. Bu to'liq ishlab chiqilgan aerostatik tizim bo'lib, o'lchagichning butun uzunligi bo'ylab bir xil, laminar havo oqimini ta'minlash uchun hisoblash suyuqlik dinamikasidan foydalangan holda ishlab chiqilgan. Toza, quruq havo (yoki sezgir muhitda azot) bilan bosim o'tkazilganda, o'lchagich ish qismi ustida 5-10 mikron balandlikda suzadi - bu mukammal hizalanishni saqlab turganda jismoniy aloqani yo'q qiladi. Natija? Tekislik, to'g'rilik yoki qadam balandligini tekshirish uchun haqiqiy kontaktsiz o'lchov, takrorlanuvchanlik ±0,2 µm gacha.
Shveytsariyadagi kvant hisoblash laboratoriyalaridan biri endi o'ta o'tkazuvchan chip tashuvchilarini tekshirish uchun 600 mm li Custom Ceramic havoda suzuvchi o'lchagichdan foydalanadi. "Har qanday aloqa - hatto yumshoq stilus bilan ham - qubit ishlashini o'zgartiradigan kuchlanishni keltirib chiqaradi", deb tushuntirdi ularning jarayon muhandisi. "Havoda suzuvchi keramik o'lchagich bizga qismga tegmasdan kerakli ma'lumotni beradi. Bu juda muhim vazifaga aylandi."
Buni ZHHIMG ning materialshunoslik, aniq ishlov berish va metrologiya tajribasining noyob integratsiyasi amalga oshirish imkonini beradi. Ko'pgina yetkazib beruvchilar keramikaga strukturaviy komponentlar sifatida qarasalar-da, biz ularni o'lchov artefaktlari sifatida optimallashtiramiz. Bizning keramik kvadrat o'lchagich dizaynlarimizga yorilishning oldini olish uchun qirralarning qiyalanishi, tekshiruv yorug'ligi ostida porlashni kamaytirish uchun mat qoplamali orqa qismlar va avtomatlashtirilgan ko'rish tizimlari uchun ixtiyoriy ishonchli markerlar kiradi. Toza xonalarda qo'llaniladigan ilovalar uchun sirtlar zarrachalarning yopishishini minimallashtirish uchun Ra < 0,02 µm gacha silliqlanadi.
Va har bir qo'llanilish har xil bo'lgani uchun, biz hamma uchun bitta o'lchamga mos keladi deb ishonmaymiz. Tekshirish paytida yupqa plastinkalarni ushlab turish uchun o'rnatilgan vakuum kanallari bo'lgan keramik tekis qirrali kerakmi? Biz uni yaratdik. Talab qilinadikvadrat chiziqliCMM zond uchiga moslashtirilgan teshiklar bilanmi? Bajarildi. O'rnatilgan bosim sensorlari va raqamli tekislash teskari aloqasiga ega maxsus keramik havo suzuvchi o'lchagichni xohlaysizmi? Bu allaqachon Tier-1 aerokosmik mijozi bilan beta-sinovdan o'tmoqda.
Sanoat tomonidan e'tirofga sazovor bo'ldi. 2025-yilgi Global Advanced Metrology Review jurnalida ZHHIMG to'liq geometrik tasdiqlash va raqamli kuzatuvga ega bo'lgan sertifikatlangan keramik mos yozuvlar vositalarining to'liq oilasini, jumladan, suzuvchi variantlarni taklif qiluvchi yagona kompaniya sifatida tilga olindi. Ammo eng muhimi, joriy etish tezlashmoqda: bizning keramik chizg'ich buyurtmalarimizning 60% dan ortig'i endi ilgari bunday vositalarni "ortiqcha" deb hisoblagan sohalardan keladi - ular farqni o'lchamaguncha.
Neyron implantlarini ishlab chiqaradigan tibbiy asboblar startapi po'latdan bizning keramik kvadrat o'lchagichimizga o'tdi va ularning birinchi o'tish samaradorligi 22% ga oshdi. "Eski kvadrat titan korpuslarida mikro o'zgarishlar qoldirdi", dedi ularning sifat nazorati menejeri. "Biz buni o'zgartirmagunimizcha sezmagan edik. Endi har bir qism birinchi urinishda vizual va o'lchovli tekshiruvlardan o'tadi."
Shunday qilib, keyingi metrologiya yangilanishingizni baholayotganingizda, o'zingizga savol bering: Hozirgi to'g'ri yo'lim noaniqlikni oshiryaptimi yoki uni yo'q qilyaptimi?
Agar jarayoningiz aniqlanish chegarasida ishlayotgan bo'lsa, javob keramikada bo'lishi mumkin - bu yangilik emas, balki zarurat sifatida. ZHHIMGda biz nafaqat keramik to'g'ri o'lchagich, keramik kvadrat o'lchagich yoki keramik to'g'ri qirrali asboblarni ishlab chiqaramiz. Biz har bir mikronga ishonchni singdiramiz.
Nashr vaqti: 2025-yil 31-dekabr