Yuqori raqobatbardosh ilg'or displey ishlab chiqarish dunyosida bozor yetakchiligi va eskirish o'rtasidagi farq ko'pincha bitta omilga bog'liq: aniqlik. Yuqori aniqlikdagi, yuqori samarali OLED va LCD ekranlar uchun asos bo'lgan past haroratli polikristalli kremniy (LTPS) massivlarini ishlab chiqarish va tekshirish muhandislik chegaralarini kengaytiradigan tolerantlikni talab qiladi. Ushbu ultra yuqori aniqlik darajasiga erishish mashinaning o'zining jismoniy poydevoridan boshlanadi. Shuning uchun LTPS massivi uskunalari uchun granit mashina bazasini tanlash nafaqat dizayn tanlovi, balki asosiy talabdir.
LTPS massivini ishlab chiqarishda ishtirok etadigan jarayonlar, xususan, lazer kristallanishi va undan keyingi fotolitografiya va cho'ktirish bosqichlari, nozik tebranishlar va issiqlik siljishlarini o'z ichiga olgan atrof-muhit shovqiniga juda sezgir. Hatto eng puxta nazorat qilinadigan toza xona muhitida ham kichik o'zgarishlar massivning hosildorligi va bir xilligiga jiddiy ta'sir ko'rsatishi mumkin. Har bir tranzistorning mukammal shakllanganligiga ishonch hosil qilish uchun yuqori darajada murakkab uskunalar tomonidan amalga oshiriladigan tekshirish bosqichi yanada yuqori darajadagi strukturaviy yaxlitlikni talab qiladi. Bu yerda yassi panelli displeyli past haroratli polisilikon massivni tekshirish uskunalari uchun granit mashina bazasi chindan ham ustunlik qiladi.
LTPS inspeksiyasining issiqlik va dinamik imperativi
LTPS texnologiyasi elektronlarning tezroq harakatlanishini ta'minlaydi, kichikroq, samaraliroq tranzistorlarni yaratishga imkon beradi va hayratlanarli darajada yangilanish tezligi va kamroq quvvat sarfiga ega displeylarga olib keladi. Biroq, unda ishtirok etuvchi tuzilmalar mikroskopik bo'lib, mikronlarda o'lchanadi. Murakkab tekshirish uskunalari nuqsonlarni aniq aniqlashi, o'lchashi va tahlil qilishi uchun uning operatsion platformasi deyarli harakatsiz va o'lchov jihatidan o'zgarmas bo'lishi kerak.
Cho'yan yoki po'lat kabi an'anaviy materiallar mustahkam bo'lishiga qaramay, tabiiy ravishda issiqlik kengayishiga moyil. Oddiy po'lat uchun issiqlik kengayish koeffitsienti (CTE) qora granitnikiga qaraganda ancha yuqori. Bu shuni anglatadiki, atrof-muhit haroratining biroz ko'tarilishi, ehtimol, bir yoki ikki daraja, po'lat mashina konstruktsiyasining sezilarli darajada kengayishi va qisqarishiga olib keladi. Massiv tekshiruvi nuqtai nazaridan, bu issiqlik siljishi pozitsiyaviy xatolarga, optik yo'ldagi noto'g'ri hizalanishlarga va yaxshi panellarning rad etilishiga yoki nuqsonli panellarning qabul qilinishiga olib kelishi mumkin bo'lgan noto'g'ri o'qishlarga olib keladi.
Aksincha, LTPS Array uskunalari uchun ixtisoslashgan granit mashina yotog'idan foydalanish juda past CTEga ega platformani ta'minlaydi. Ushbu termal barqarorlik mashinaning muhim geometriyasi - o'lchash sensori va LTPS substrati orasidagi masofa - doimiy bo'lib qolishini ta'minlaydi, bu esa sifat nazorati uchun zarur bo'lgan izchil, takrorlanadigan submikron o'lchovlarini amalga oshirish imkonini beradi.
Tengsiz tebranish suspenziyasi va qattiqligi
Issiqlik barqarorligidan tashqari, granitning ichki material xususiyatlari dinamik kuchlar va tebranishlarni boshqarishda sezilarli afzalliklarni taqdim etadi. Ilg'or tekshirish tizimlari kichik mexanik harakatlar va tebranishlarni keltirib chiqaradigan yuqori tezlikdagi bosqichlar va murakkab skanerlash mexanizmlaridan foydalanadi. Ushbu ichki kuchlar, havo ishlov beruvchilar yoki qo'shni mashinalardan chiqadigan tashqi shovqin bilan birgalikda, harakatning xiralashishi yoki o'qishning beqarorligini oldini olish uchun tezda neytrallashtirilishi kerak.
Granitning yuqori ichki amortizator qobiliyati, ya'ni tebranish energiyasini metallarga qaraganda ancha tezroq tarqatish imkonini beruvchi xususiyati bu yerda juda muhimdir. U passiv amortizator vazifasini bajaradi va har bir harakatdan keyin mashinaning tezda mukammal sokinlik holatiga qaytishini ta'minlaydi. Toshning yuqori elastiklik va zichlik moduli, shuningdek, og'ir portal tizimlari, optik yig'ilishlar va vakuum kameralarining og'irligi ostida statik deflyatsiyani minimallashtirib, juda qattiq tuzilishga hissa qo'shadi.
Aslida, LTPS Array ilovalari uchun aniq tayyorlangan granit mashina bazasini tanlash orqali muhandislar termal barqaror, akustik jihatdan jim va strukturaviy jihatdan qattiq poydevor yaratmoqdalar. Ushbu uchlik xususiyatlar zamonaviy LTPS displey ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan o'tkazish qobiliyati va rentabellik maqsadlariga erishish uchun munozarali emas.
Tabiatdan muhandislik mukammalligi
Yakuniy mahsulot — granit dastgohi asosi — qoʻpol karer toshidan ancha yiroq. Bu metrologiya durdonasi boʻlib, koʻpincha past mikron diapazonida yoki hatto submikronda oʻlchangan tolerantliklarga qadar ishlov beriladi. Granitning stressni yengillashtirishi va mukammal tekis boʻlishini taʼminlash uchun maxsus texnikalar qoʻllaniladi. Ushbu yuqori darajada tozalangan tabiiy material barcha keyingi mexanik va optik hizalanishlar kalibrlanadigan eng yuqori mos yozuvlar tekisligini taʼminlaydi.
LTPS massiv uskunalarini ishlab chiqaruvchilar uchun yuqori aniqlikdagi granitning integratsiyasi ularning mashinalarining eng yuqori unumdorlikda uzluksiz ishlashini ta'minlaydi, bu esa iste'mol bozori uchun yuqori hosildorlik va sifatli displeylarga bevosita ta'sir qiladi. Bu muhandislik mutlaq mukammallikni talab qilganda, Yerning eng barqaror tabiiy materialiga murojaat qilish eng ishonchli yechimni taqdim etishidan dalolat beradi.
Joylashtirilgan vaqt: 2025-yil 3-dekabr