Granit platformasi aniq o'lchash va qayta ishlash uchun mos yozuvlar vositasi sifatida uning aniqligini ta'minlash ishlab chiqarish sifatiga bevosita ta'sir qiladi. Quyida platformaning nanometr darajasidagi aniqlikni uzoq vaqt davomida saqlab turishini ta'minlash uchun atrof-muhitni nazorat qilish, kundalik texnik xizmat ko'rsatish va professional kalibrlashni qamrab oluvchi tizimli texnik xizmat ko'rsatish rejasi keltirilgan.
1. Atrof-muhitni nazorat qilish: aniq himoya to'sig'ini yarating
Harorat va namlikni boshqarish
Ish muhiti harorati 20±1℃ darajasida barqarorlashtirilishi kerak. Har 1℃ tebranish granit platformasining 0,5-1μm/m issiqlik deformatsiyasiga olib keladi. Konditsioner chiqish joylarining to'g'ridan-to'g'ri platformaga puflanishining oldini olish uchun ustaxonada doimiy harorat tizimi o'rnatilishi mumkin.
Namlik 40% dan 60% gacha nazorat qilinishi kerak. Haddan tashqari namlik metall qismlarda zanglashga olib kelishi mumkin, juda past namlik esa o'lchovlarda statik elektr tokining aralashishiga olib kelishi mumkin.
Vibratsiyali izolyatsiya
Platforma shtamplash mashinalari va frezalash mashinalari kabi tebranish manbalaridan uzoqroq tutilishi kerak. Tebranish uskunalaridan 3 metrdan ortiq masofani saqlash tavsiya etiladi.
Agar tebranishni oldini olishning iloji bo'lmasa, platformaning tekisligiga atrof-muhit tebranishining ta'sirini kamaytirish uchun platformaning pastki qismiga havo prujinali amortizatorlar o'rnatilishi mumkin (bu tashqi tebranishni 80% dan ortiqqa kamaytirishi mumkin).
2. Kundalik texnik xizmat ko'rsatish: Tozalashdan himoya qilishgacha puxta nazorat
Sirtni tozalash xususiyatlari
Changni tozalash: Chang zarralari (≥5 μm) platformani tirnab qo'ymasligi uchun sirtni har kuni kiyik terisi yoki tuksiz mato bilan bir xil yo'nalishda artib oling. Qattiq dog'larni suvsiz etanol (tozalik ≥99,7%) bilan muloyimlik bilan artib olish mumkin. Aseton kabi kuchli erituvchilardan foydalanmaslik kerak.
Yog'sizlantirish: Agar u yog' dog'lariga tegsa, uni suyultirilgan neytral tozalagich bilan artib oling, so'ngra mineral moyning platformaning mayda teshiklariga kirishiga yo'l qo'ymaslik uchun deionizatsiyalangan suv bilan yuving va havoda quriting.
Yuk va to'qnashuvdan himoya
Mahalliy ortiqcha yuklanish natijasida yuzaga keladigan doimiy deformatsiyaning oldini olish uchun platformaning yuk ko'tarish qobiliyati nominal yukning 70% doirasida boshqarilishi kerak (masalan, 1000 kg platforma uchun yuk ≤700 kg bo'lishi tavsiya etiladi).
Ish qismlarini platformaga urish qat'iyan man etiladi. Asboblar bilan ishlaganda, o'tkir narsalarning sirtni tirnashiga yo'l qo'ymaslik uchun yumshoq qo'lqop kiying (chuqurligi 20 mkm dan katta bo'lgan tirnalishlar aks etgan yorug'lik yo'lini o'lchashga ta'sir qiladi).
3. Professional kalibrlash: ilmiy jihatdan aniqlikni saqlashning asosi
Kalibrlash siklini sozlash
An'anaviy foydalanish stsenariylari: Har chorakda bir marta kalibrlang va tekislikni aniqlash uchun lazer interferometridan foydalaning (±0,5 μm/m aniqlik bilan).
Yuqori chastotali foydalanish yoki qattiq muhitlar: Haroratga sezgir joylarni (masalan, issiqlik manbalari yaqinidagi platformaning chekkasi) kuzatishga qaratilgan oylik kalibrlash.
Kalibrlashdan keyingi ishlov berish
Agar tekislik og'ishi aniqlansa (masalan, > ±1μm/m), uni professional texnik tomonidan W1.5 mikro-kukunidan foydalanib maydalash va ta'mirlash kerak. Zımpara bilan o'z-o'zini maydalash qat'iyan man etiladi.
Kalibrlashdan so'ng, ma'lumotlar yozib olinishi va arxivlanishi kerak, shuningdek, texnik xizmat ko'rsatish talablarini oldindan bashorat qilish uchun platforma aniqligining susayish egri chizig'ini yaratish kerak.
4. Saqlash va tashish: Yashirin aniqlik yo'qotilishidan saqlaning
Uzoq muddatli saqlashning asosiy jihatlari
Saqlashda u namlik va chang o'tkazmaydigan qopqoq bilan qoplangan bo'lishi kerak. Og'irlik kuchi ta'sirida egilish deformatsiyasining oldini olish uchun pastki qismi uchta nuqta bilan qo'llab-quvvatlanishi kerak (tayanch nuqtasi platforma uzunligining 2/9 qismida joylashgan) (1 metrli platforma uzoq muddatli bitta nuqtali tayanch tufayli 0,3 mkm ga egilishi mumkin).
Uzoq muddatli mahalliy bosimdan qochish uchun platforma tayanch nuqtalarining o'rnini muntazam ravishda (oylik) siljiting.
Transportni himoya qilish rejasi
Qisqa masofaga tashish: zarbani yutuvchi ko'pik bilan o'rang, qattiq ramka ichiga mahkamlang va tezlanishni 2 g ichida saqlang.
Uzoq masofaga tashish: Uni vakuum bilan qadoqlash va quruq azot bilan to'ldirish kerak. Yetkazib berilgandan so'ng, kondensatsiya suvining aniqlikka ta'sir qilishini oldini olish uchun uni ochishdan oldin harorat muvozanatga kelguncha 24 soat davomida qoldirib turish kerak.
5. Xatolarni bashorat qilish: Erta muammolarni aniqlash usullari
Vizual tekshirish: Sirtni muntazam ravishda 40x kattalashtiruvchi oyna bilan kuzatib boring. Agar doimiy tirnalishlar yoki yaltiroqlikning sezilarli darajada pasayishi aniqlansa, bu aniqlikning pasayishini ko'rsatishi mumkin.
Tovushni aniqlash: Platformani sekin bosing. Agar tovush xirillagan bo'lsa (odatda u aniq bo'lishi kerak), ichkarida mikro yoriqlar bo'lishi mumkin. Aniqlash uchun darhol undan foydalanishni to'xtating.
Ushbu texnik xizmat ko'rsatish tizimi orqali ZHHIMG® granit platformasi 10 yil davomida ±1μm/m tekislikni saqlab turishi mumkin, bu esa to'g'ri parvarish qilinmaydigan platformalarning aniqlik muddatidan uch baravar ko'p. Amaliyot shuni ko'rsatdiki, ma'lum bir yarimo'tkazgich zavodi ushbu yechimni qo'llaganidan so'ng, platformani kalibrlash chastotasi 50% ga kamaydi va yillik texnik xizmat ko'rsatish xarajatlari 150 000 yuandan ortiq tejaldi.
Nashr vaqti: 2025-yil 18-iyun