Granit platformasi, aniq o'lchash va qayta ishlash uchun mos yozuvlar vositasi sifatida, uning aniqligini saqlash ishlab chiqarish sifatiga bevosita ta'sir qiladi. Quyida platforma uzoq vaqt davomida nanometr darajasidagi aniqlikni saqlab turishini ta'minlash uchun atrof-muhit nazorati, kundalik parvarishlash va professional kalibrlashni o'z ichiga olgan tizimli parvarishlash rejasini taqdim etadi.
1. Atrof-muhitni nazorat qilish: nozik himoya to'sig'ini qurish
Harorat va namlikni boshqarish
Ish muhitining harorati 20 ± 1 ℃ da barqarorlashtirilishi kerak. Har 1 ℃ tebranish granit platformasining 0,5-1 mkm / m da termal deformatsiyasiga olib keladi. Konditsioner rozetkalarini to'g'ridan-to'g'ri platformaga puflashning oldini olish uchun ustaxonada doimiy harorat tizimi o'rnatilishi mumkin.
Namlikni 40% dan 60% gacha nazorat qilish kerak. Haddan tashqari namlik metall qismlarda osongina zangga olib kelishi mumkin, juda past namlik esa o'lchashda statik elektr aralashuviga olib kelishi mumkin.
Vibratsiyali izolyatsiya
Platforma shtamplash mashinalari va frezalash mashinalari kabi tebranish manbalaridan uzoqda bo'lishi kerak. Vibratsiyali uskunadan 3 metrdan ortiq masofani saqlash tavsiya etiladi.
Tebranishning oldini olishning iloji bo'lmasa, platformaning tekisligiga atrof-muhit tebranishining ta'sirini kamaytirish uchun platformaning pastki qismiga havo kamonli amortizatorlar o'rnatilishi mumkin (bu tashqi tebranishlarni 80% dan ko'proq kamaytirishi mumkin).
2. Kundalik texnik xizmat ko'rsatish: tozalashdan himoya qilishgacha sinchkovlik bilan nazorat qilish
Sirtni tozalash spetsifikatsiyasi
Changni tozalash: platformani chang zarralari (≥5 mkm) tirnashini oldini olish uchun har kuni bir xil yo'nalishda sirtni kiyik terisi yoki tuklarsiz mato bilan artib oling. Qattiq dog'larni suvsiz etanol (tozaligi ≥99,7%) bilan muloyimlik bilan artib tashlash mumkin. Aseton kabi kuchli erituvchilar ishlatilmasligi kerak.
Yog'sizlantirish: Agar u yog'li dog'lar bilan aloqa qilsa, uni suyultirilgan neytral tozalagich bilan artib oling, so'ngra deionizatsiyalangan suv bilan yuving va mineral moy platformaning mayda teshiklariga kirib ketmasligi uchun havo bilan quriting.
Yuk va to'qnashuvdan himoya qilish
Platformaning yuk ko'tarish quvvati nominal yukning 70% ichida nazorat qilinishi kerak (masalan, 1000kg platforma uchun yuk ≤700kg bo'lishi tavsiya etiladi), mahalliy ortiqcha yuk tufayli doimiy deformatsiyani oldini olish uchun.
Ish qismlarini platformaga urish qat'iyan man etiladi. Asboblar bilan ishlaganda, o'tkir narsalarning sirtni tirnashini oldini olish uchun yumshoq qo'lqop kiying (20 mkm dan ortiq chuqurlikdagi tirnalganlar aks ettirilgan yorug'lik yo'lini o'lchashga ta'sir qiladi).
3. Professional kalibrlash: Ilmiy jihatdan aniqlikni saqlashning yadrosi
Kalibrlash siklini sozlash
Oddiy foydalanish stsenariylari: Har chorakda bir marta kalibrlang va tekislikni aniqlash uchun lazer interferometridan foydalaning (±0,5 mkm/m aniqlik bilan).
Yuqori chastotali foydalanish yoki og'ir muhitlar: Oylik kalibrlash, asosiy e'tibor haroratga sezgir hududlarni (masalan, issiqlik manbalari yaqinidagi platformaning chekkasi) kuzatishga qaratilgan.
Kalibrlashdan keyingi ishlov berish
Agar tekislikning og'ishi aniqlansa (masalan, > ±1 mkm/m), uni maydalash va W1.5 mikro-chang yordamida professional texnik tomonidan ta'mirlash kerak. Zımpara bilan o'z-o'zidan silliqlash qat'iyan man etiladi.
Kalibrlashdan so'ng, ma'lumotlarni yozib olish va arxivlash kerak va texnik talablarni oldindan bashorat qilish uchun platformaning aniqligini pasaytirish egri chizig'ini o'rnatish kerak.
4. Saqlash va tashish: Yashirin aniqlik yo'qolishidan saqlaning
Uzoq muddatli saqlash uchun asosiy fikrlar
Saqlashda namlik va chang o'tkazmaydigan qopqoq bilan qoplangan bo'lishi kerak. Gravitatsiyadan kelib chiqadigan egilish deformatsiyasini oldini olish uchun pastki qismini uchta nuqta bilan qo'llab-quvvatlash kerak (qo'llab-quvvatlash nuqtasi platforma uzunligining 2/9 qismida joylashgan) (uzoq muddatli bir nuqtali tayanch tufayli 1 metrli platforma 0,3 mkm ga tushishi mumkin).
Uzoq muddatli mahalliy bosimdan qochish uchun platformani qo'llab-quvvatlash nuqtalarining o'rnini muntazam ravishda (oylik) o'tkazing.
Transportni himoya qilish rejasi
Qisqa masofaga tashish: zarbani yutuvchi ko'pik bilan o'rang, qattiq ramka ichida mahkamlang va tezlashuvni 2 g ichida saqlang.
Uzoq masofaga tashish: uni vakuum bilan o'rash va quruq azot bilan to'ldirish kerak. Kelgandan so'ng, kondensatsiya suvining aniqlikka ta'sir qilishiga yo'l qo'ymaslik uchun uni ochishdan oldin harorat muvozanatga kelguncha 24 soat turishi kerak.
5. Xatolarni bashorat qilish: dastlabki muammolarni aniqlash usullari
Vizual tekshirish: muntazam ravishda sirtni 40x kattalashtirish oynasi bilan kuzatib boring. Agar doimiy chizmalar yoki yorqinlikning sezilarli pasayishi aniqlansa, bu aniqlikning pasayishini ko'rsatishi mumkin.
Ovozni aniqlash: platformaga sekin teging. Ovoz xirillagan bo'lsa (odatda aniq ovoz bo'lishi kerak), uning ichida mikro yoriqlar bo'lishi mumkin. Aniqlash uchun darhol foydalanishni to'xtating.
Ushbu texnik xizmat ko'rsatish tizimi orqali ZHHIMG® granit platformasi 10 yil davomida ± 1 mkm / m tekislikni saqlab turishi mumkin, bu esa to'g'ri saqlanmagan platformalarning aniq muddatidan uch barobar ko'proqdir. Amaliyot shuni ko'rsatdiki, ma'lum bir yarimo'tkazgich zavodi ushbu echimni qabul qilgandan so'ng, platformani kalibrlash chastotasi 50% ga kamaydi va yillik texnik xizmat ko'rsatish xarajatlari 150 000 yuandan ko'proq tejaldi.
Yuborilgan vaqt: 2025 yil 18-iyun