Kalibrlash laboratoriyalari, yarimo'tkazgichli toza xonalar va aerokosmik metrologiya to'plamlarining sokin zallarida jimgina inqilob boshlanmoqda. Bu faqat dasturiy ta'minot yoki sensorlar bilan emas, balki o'lchovning asosini tashkil etuvchi materiallar bilan ham bog'liq. Ushbu o'zgarishning oldingi qatorida ilg'or keramik o'lchash asboblari, jumladan, ultra barqaror keramik havo to'g'ri o'lchagich va juda qattiq yuqori aniqlikdagi kremniy-karbid (Si-SiC) parallelepiped va kvadrat mavjud. Bular shunchaki asboblar emas; ular barqarorlik, takrorlanish va termal neytrallik muhokama qilinmaydigan yangi davrni qo'llab-quvvatlaydi.
Yarim asrdan ko'proq vaqt davomida qora granit aniq metrologiyada ustunlik qildi. Uning tabiiy amortizatsiyasi, past issiqlik kengayishi va ajoyib tekisligi uni sirt plitalari, kvadratlar va tekis qirralar uchun asosiy materialga aylantirdi. Shunga qaramay, sanoat submikron va hatto nanometr o'lchamidagi tolerantliklarga o'tayotgan bir paytda, ayniqsa yarimo'tkazgich litografiyasi, kosmik optika va kvant hisoblashda, granitning cheklovlari tobora aniqroq bo'lib bormoqda. U og'ir, takroriy aloqa paytida mikro-chiplarga moyil va obro'siga qaramay, yuk ostida yoki atrof-muhit o'zgarishi ostida hali ham bir oz uzoq muddatli siljishni ko'rsatadi.
Muhandislik keramikasiga kiring: kundalik tasavvurdagi mo'rt kulolchilik emas, balki haddan tashqari issiqlik va bosim ostida zarb qilingan zich, bir xil, yuqori samarali materiallar. Ular orasida metrologiya qo'llanilishi uchun ikkita sinf ajralib turadi: yuqori tozalikdagi alumina (Al₂O₃) va reaksiya bilan bog'langan kremniy karbidi (Si-SiC). Ikkalasi ham an'anaviy materiallarga nisbatan sezilarli yaxshilanishlarni taklif qilsa-da, ular alohida rol o'ynaydi va birgalikda ular o'lchovli metrologiyada mumkin bo'lgan eng ilg'or texnologiyalarni ifodalaydi.
Masalan, keramik havo to'g'ri o'lchagichni olaylik. Havo ko'taruvchi pog'onalar yoki optik interferometrlar bilan foydalanish uchun mo'ljallangan ushbu asbob deyarli mukammal to'g'rilik, minimal massa va nol issiqlik siljishi talab qiladi. Aluminiy oksidi asosidagikeramik o'lchagichlar—500 mm dan ortiq ±0,5 µm ichida tekislik va to'g'rilikka ishlov berilgan va Ra 0,02 µm dan past sirt pürüzlülüğüne qadar silliqlangan — aynan shuni ta'minlaydi. Ularning past zichligi (~3,6 g/sm³) dinamik o'lchash tizimlarida inertsiyani kamaytiradi, magnit bo'lmagan, o'tkazuvchan bo'lmagan tabiati esa sezgir elektron yoki magnit muhitdagi shovqinlarni yo'q qiladi. Plitalarni tekshirish vositalarida yoki lazer trekerlarini kalibrlash sozlamalarida, hatto bir mikron kamon ham natijalarni buzishi mumkin bo'lgan joylarda, keramik havo to'g'ri o'lchagich harorat o'zgarishi va ish sikllarida ham o'zgarmas bo'lib qoladigan barqaror, inert ma'lumotnomani taqdim etadi.
Lekin oxirgi qattiqlik va issiqlik o'tkazuvchanligi talab qilinganda — masalan, kosmik teleskop oynasini tekislash yoki yuqori quvvatli lazer bo'shlig'i metrologiyasida — muhandislar yuqori aniqlikdagi kremniy-karbid (Si-SiC) parallelepiped va kvadrat komponentlarga murojaat qilishadi. Si-SiC ma'lum bo'lgan eng qattiq materiallar qatoriga kiradi, uning Yang moduli 400 GPa dan oshadi — bu po'latdan uch baravar ko'p — va issiqlik o'tkazuvchanligi alyuminiy bilan raqobatlashadi. Eng muhimi, uning issiqlik kengayish koeffitsienti (CTE) optik oynalar yoki kremniy plastinkalarnikiga mos keladigan tarzda ishlab chiqilishi mumkin, bu esa gibrid yig'ilishlarda nolga yaqin differentsial kengayishni ta'minlaydi. EUV litografiya vositasida asosiy ma'lumotnoma sifatida ishlatiladigan Si-SiC kvadrati shunchaki o'z shaklini saqlab qolmaydi — u mahalliy isitish yoki tebranishdan kelib chiqadigan buzilishlarga faol qarshilik ko'rsatadi.
Bu yutuqlarni nafaqat material, balki keramika o'lchash asboblarini ishlab chiqarish mahorati ham mumkin qiladi. Masalan, Si-SiC ni aniq ishlov berish uchun olmos silliqlash g'ildiraklari, submikronli CNC platformalari va harorat nazorat qilinadigan muhitda o'tkaziladigan ko'p bosqichli ishlov berish jarayonlari talab etiladi. Noto'g'ri sinterlashdan kelib chiqadigan kichik qoldiq kuchlanish ham ishlov berishdan keyingi deformatsiyaga olib kelishi mumkin. Shuning uchun faqat tanlangan bir nechta global ishlab chiqaruvchilar material sintezi, aniq shakllantirish va yakuniy metrologiyani bitta tom ostida birlashtiradilar - bu haqiqiy metrologiya darajasidagi ishlab chiqaruvchilarni umumiy keramika yetkazib beruvchilaridan ajratib turadigan imkoniyatdir.
ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) kompaniyasida ushbu vertikal integratsiya bizning missiyamizning markazida turadi. Bizning keramik o'lchash asboblarimiz, jumladan, DIN 874 AA sinfiga sertifikatlangan keramik havo tekis o'lchagich modellari va PTB va NIST standartlariga muvofiq kuzatiladigan yuqori aniqlikdagi kremniy-karbid (Si-Si-C) parallelepiped va kvadrat artefaktlar, ISO 7-sinf toza xonalarida maxsus sinterlash va pardozlash protokollaridan foydalangan holda ishlab chiqariladi. Har bir komponent to'liq interferometrik tasdiqlashdan, geometrik toleranslarning (tekislik, parallellik, perpendikulyarlik) CMM tekshiruvidan va jo'natishdan oldin sirt yaxlitligi sinovidan o'tkaziladi. Natijada nafaqat texnik xususiyatlarga javob beradigan, balki partiyalar bo'yicha ularni doimiy ravishda oshirib boradigan mos yozuvlar darajasidagi artefakt hosil bo'ladi.
Bunday ishlashga talab ortib bormoqda. Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda EUV va yuqori NA litografiya tizimlari metr o'lchamidagi masofalarda o'nlab nanometrlar ichida barqaror bo'lgan hizalanish tuzilmalarini talab qiladi - bu Si-SiC ning termal-mexanik sinergiyasisiz mumkin emas. Aerokosmik sohada keramik mos yozuvlar bilan yasalgan sun'iy yo'ldosh optik skameykalari haddan tashqari termal siklga qaramay, orbitada barqarorlikni ta'minlaydi. Hatto pikometr darajasidagi barqarorlik muhim bo'lgan gravitatsion to'lqinlarni aniqlash yoki atom soatlarini ishlab chiqish kabi rivojlanayotgan sohalarda ham keramika va Si-SiC metrologiya artefaktlari ajralmas bo'lib qolmoqda.
Eng muhimi, ushbu vositalar barqarorlik va egalik qilishning umumiy qiymatini ham ko'rib chiqadi. Yuqori aniqlikdagi kremniy-karbid parallelepipedga dastlabki investitsiya granit ekvivalentidan oshib ketishi mumkin bo'lsa-da, uning xizmat muddati ko'p ishlatiladigan muhitda 5-10 baravar ko'p bo'lishi mumkin. U moylashni talab qilmaydi, barcha keng tarqalgan erituvchilar va plazmalarga chidamli va namlikni yutish tufayli hech qachon qayta kalibrlashni talab qilmaydi - quyma temir yoki hatto ba'zi granitlardan farqli o'laroq. AS9100, ISO 13485 yoki SEMI standartlari ostida ishlaydigan sifat menejerlari uchun bu ishonchlilik to'g'ridan-to'g'ri ishlamay qolish vaqtini qisqartirishga, audit natijalarini kamaytirishga va mijozlar ishonchini oshirishga olib keladi.
Bundan tashqari, ushbu asboblarning estetik va funktsional nafisligini e'tibordan chetda qoldirmaslik kerak. Jilolangan Si-SiC kvadrat metall yaltiroqlik bilan porlaydi, ammo po'latdan yengilroq. Keramik havo tekis o'lchagich mustahkam his qiladi, ammo osonlikcha ko'tariladi - tor joylarda qo'lda tekshirish uchun ideal. Bu insonga yo'naltirilgan fazilatlar real hayotdagi laboratoriyalarda muhimdir, bu yerda ergonomika va foydalanish qulayligi kundalik ish jarayoniga ta'sir qiladi.
Xo'sh, keramik o'lchash asboblari ultra yuqori aniqlikni qayta belgilayaptimi? Javob ma'lumotlarda va endi ularni standart sifatida belgilaydigan global yetakchilarning tobora ortib borayotgan ro'yxatida. Keyingi avlod uzunlik standartlarini tasdiqlovchi milliy metrologiya institutlaridan tortib, elektromobillarning uzatish mexanizmi komponentlarini sertifikatlovchi 1-darajali yetkazib beruvchilargacha, o'zgarish aniq: noaniqlikni minimallashtirish kerak bo'lganda, muhandislar muhandislik keramikasiga ishonishadi.
Sanoat tarmoqlari atom miqyosini nazorat qilish sari tinimsiz yurishni davom ettirar ekan, bitta haqiqat inkor etilmaydi: o'lchovlarning kelajagi toshdan o'yib ishlangan yoki metallga quyilmagan bo'ladi. U keramika va kremniy karbidida sinterlanadi, maydalanadi va sayqallanadi.
ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) ultra aniq keramika va kremniy-karbid metrologiya yechimlarida global miqyosda tan olingan innovator hisoblanadi. Keramika o'lchash asboblari, keramik havo to'g'ri o'lchagichi va yuqori aniqlikdagi kremniy-karbid (Si-SiC) parallelepiped va kvadrat komponentlarga ixtisoslashgan ZHHIMG yarimo'tkazgich, aerokosmik, mudofaa va ilmiy tadqiqotlar uchun to'liq sertifikatlangan, laboratoriya darajasidagi artefaktlarni taqdim etadi. ISO 9001, ISO 14001 va CE sertifikatlari bilan qo'llab-quvvatlanadigan mahsulotlarimiz butun dunyo bo'ylab yetakchi texnologiya korxonalari tomonidan ishonchli hisoblanadi. Bizning ilg'or metrologiya portfelimiz bilan tanishing.www.zhhimg.com.
Nashr vaqti: 2025-yil 5-dekabr