♦Alumina (Al)2O3)
ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) tomonidan ishlab chiqarilgan aniq keramik qismlar yuqori tozalikdagi keramik xom ashyolardan, 92 ~ 97% alumina, 99,5% alumina, >99,9% alumina va CIP sovuq izostatik presslashdan tayyorlanishi mumkin. Yuqori haroratli sinterlash va aniq ishlov berish, o'lchov aniqligi ± 0,001 mm, silliqlik Ra0.1 gacha, foydalanish harorati 1600 darajagacha. Mijozlarning talablariga muvofiq turli xil rangdagi keramikalarni tayyorlash mumkin, masalan: qora, oq, bej, to'q qizil va boshqalar. Kompaniyamiz tomonidan ishlab chiqarilgan aniq keramik qismlar yuqori harorat, korroziya, aşınma va izolyatsiyaga chidamli bo'lib, uzoq vaqt davomida yuqori harorat, vakuum va korroziv gaz muhitida ishlatilishi mumkin.
Turli xil yarimo'tkazgich ishlab chiqarish uskunalarida keng qo'llaniladi: Ramkalar (keramik qavs), substrat (taglik), qo'l/ko'prik (manipulyator), mexanik komponentlar va keramik havo podshipniklari.
| Mahsulot nomi | Yuqori poklikdagi 99 alyuminiy oksidli keramik kvadrat naycha / quvur / novda | |||||
| Indeks | Birlik | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
| Zichlik | g/sm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Suvni yutish | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Sinterlangan harorat | ℃ | 1620-yil | 1650-yil | 1800-yil | 1800-yil | |
| Qattiqlik | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Bükme kuchi (20℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Siqish kuchi | Kgf/sm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Uzoq muddatli ish harorati | ℃ | 1350-yil | 1400 | 1600 | 1650-yil | |
| Maksimal ish harorati | ℃ | 1450-yil | 1600 | 1800-yil | 1800-yil | |
| Ovozga chidamlilik | 20℃ | Ω. sm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Yuqori tozaligidagi alumina keramikasini qo'llash:
1. Yarimo'tkazgich uskunalariga qo'llaniladi: keramik vakuum patron, kesish disk, tozalash disk, keramik PATRO.
2. Plitalarni uzatish qismlari: plitani qayta ishlash patronlari, plitani kesish disklari, plitani tozalash disklari, plitani optik tekshirish so'rg'ichlari.
3. LED / LCD yassi panelli displey sanoati: keramik nozul, keramik silliqlash disk, LIFT PIN, PIN ray.
4. Optik aloqa, quyosh energiyasi sanoati: keramik naychalar, keramik tayoqchalar, elektron plata ekranli bosma keramik qirg'ichlar.
5. Issiqlikka chidamli va elektr izolyatsiyalovchi qismlar: keramik podshipniklar.
Hozirgi vaqtda alyuminiy oksidi keramikasini yuqori tozalik va oddiy keramikalarga bo'lish mumkin. Yuqori tozalikdagi alyuminiy oksidi keramika seriyasi 99,9% dan ortiq Al₂O₃ tarkibidagi keramik materialni anglatadi. Sinterlash harorati 1650-1990°C gacha va uzatish to'lqin uzunligi 1 ~ 6μm bo'lganligi sababli, odatda platina tigel o'rniga eritilgan oynaga ishlov beriladi: u yorug'lik o'tkazuvchanligi va ishqoriy metallarga korroziyaga chidamliligi tufayli natriy naycha sifatida ishlatilishi mumkin. Elektronika sanoatida u IC substratlari uchun yuqori chastotali izolyatsiya materiali sifatida ishlatilishi mumkin. Alyuminiy oksidining turli tarkibiga ko'ra, oddiy alyuminiy oksidi keramika seriyasini 99 ta keramika, 95 ta keramika, 90 ta keramika va 85 ta keramikaga bo'lish mumkin. Ba'zan 80% yoki 75% alyuminiy oksidi bo'lgan keramika oddiy alyuminiy oksidi keramika seriyasi sifatida ham tasniflanadi. Ular orasida 99 alyuminiy oksidi keramik materiali yuqori haroratli tigel, yong'inga chidamli pech naychasi va keramik podshipniklar, keramik muhrlar va klapan plitalari kabi maxsus aşınmaya bardoshli materiallarni ishlab chiqarish uchun ishlatiladi. 95 alyuminiy keramikasi asosan korroziyaga chidamli aşınmaya bardoshli qism sifatida ishlatiladi. 85 keramikasi ko'pincha ba'zi xususiyatlarda aralashtiriladi, shu bilan elektr ishlashi va mexanik mustahkamlikni yaxshilaydi. U molibden, niobiy, tantal va boshqa metall muhrlardan foydalanishi mumkin, ba'zilari esa elektr vakuum qurilmalari sifatida ishlatiladi.
| Sifatli mahsulot (vakillik qiymati) | Mahsulot nomi | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Kimyoviy tarkibi past natriyli oson sinterlash mahsuloti | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Qotib kuldim | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| O'rtacha zarracha diametri (MT-3300, lazer tahlil usuli) | mkm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Kristall o'lchami | mkm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Shakllanish zichligi** | g/sm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Sinterlash zichligi** | g/sm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Sinterlash liniyasining qisqarish tezligi** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* Al₂O₃ sofligini hisoblashda MgO hisobga olinmagan.
* Qatlamsiz kukun 29.4MPa (300kg/sm²), sinterlash harorati 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: 0,05 ~ 0,1% MgO qo'shing, sinterlash qobiliyati juda yaxshi, shuning uchun u 99% dan ortiq soflikka ega alyuminiy oksidi keramikasiga qo'llaniladi.
AES-22S: Yuqori shakllantirish zichligi va sinterlash liniyasining past qisqarish tezligi bilan ajralib turadi, u kerakli o'lchov aniqligiga ega sirpanish shaklidagi quyish va boshqa yirik o'lchamli mahsulotlarga qo'llaniladi.
AES-23 / AES-31-03: AES-22S ga qaraganda yuqori hosil bo'lish zichligi, tiksotropiyasi va pastroq yopishqoqlikka ega. Birinchisi keramika uchun ishlatiladi, ikkinchisi esa yong'inga chidamli materiallar uchun suvni kamaytiruvchi sifatida ishlatiladi va mashhurlikka erishmoqda.
♦Silikon karbid (SiC) xususiyatlari
| Umumiy xususiyatlar | Asosiy komponentlarning sofligi (og'irlik%) | 97 | |
| Rang | Qora | ||
| Zichlik (g/sm³) | 3.1 | ||
| Suvning singishi (%) | 0 | ||
| Mexanik xususiyatlar | Bükülme kuchi (MPa) | 400 | |
| Yosh modul (GPa) | 400 | ||
| Vickers qattiqligi (GPa) | 20 | ||
| Issiqlik xususiyatlari | Maksimal ish harorati (°C) | 1600 | |
| Issiqlik kengayish koeffitsienti | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| Issiqlik o'tkazuvchanligi (Vt/m x K) | 130 110 | ||
| Termik zarba qarshiligi ΔT (°C) | 300 | ||
| Elektr xususiyatlari | Hajm qarshiligi | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Dielektrik doimiysi | 10 gigagertsli | - | |
| Dielektrik yo'qotish (x 10-4) | - | ||
| Q faktor (x 104) | - | ||
| Dielektrik parchalanish kuchlanishi (KV/mm) | - | ||
♦Silikon nitridli keramika
| Materiallar | Birlik | Si₃N₄ |
| Sinterlash usuli | - | Gaz bosimi sinterlangan |
| Zichlik | g/sm³ | 3.22 |
| Rang | - | To'q kulrang |
| Suvni yutish darajasi | % | 0 |
| Yosh Modul | GPA | 290 |
| Vickers qattiqligi | GPA | 18 - 20 |
| Siqish kuchi | Mpa | 2200 |
| Bükme kuchi | Mpa | 650 |
| Issiqlik o'tkazuvchanligi | Vt/mK | 25 |
| Termal zarba qarshiligi | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Maksimal ish harorati | °C | 1200 |
| Ovozga chidamlilik | Ω·sm | > 10 ^ 14 |
| Dielektrik doimiysi | - | 8.2 |
| Dielektrik kuch | kV/mm | 16 |