Yarimo'tkazgichlar sanoati 2 nm dan kichik jarayon tugunlarini faol ravishda ta'qib qilar ekan, mexanik xatolar chegarasi deyarli yo'qoldi. Ushbu yuqori xavf ostidagi muhitda jarayon kamerasining barqarorligi endi ikkinchi darajali muammo emas; bu hosildorlik uchun asosiy to'siqdir. ZHHIMGda biz global OEMlarning yarimo'tkazgichli asosiy uskunalarning strukturaviy yaxlitligiga yondashuvida tub o'zgarishni kuzatmoqdamiz.
Jimlik fizikasi: Vibratsiyani pasaytirishning ilg'or usullari
Zamonaviy plastinka ishlab chiqarishda ilgari "fon shovqini" deb hisoblangan tebranishlar endi halokatli. Bu ob'ektning HVAC tizimidan kelib chiqadigan mikro-tebranishlarmi yoki yuqori tezlikdagi skanerlash bosqichining ichki inertsiyasimi, nazoratsiz energiya to'g'ridan-to'g'ri qoplama xatolari va xira naqshlarga olib keladi.
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda mavjud tebranishlarni susturmalash texnikasi ko'p qatlamli arxitekturaga aylandi. Mineral quyish yoki aniq granit kabi yuqori massali materiallardan foydalangan holda passiv susturma asos bo'lib qolsa-da, biz faol susturmalash integratsiyasining keskin o'sishini ko'rmoqdamiz.
Faol tizimlar qarshi chastotalarni yaratish orqali tebranishlarni "bekor qilish" uchun piezoelektrik aktuatorlar va real vaqt sensorlaridan foydalanadi. Biroq, faol tizimlarning samaradorligi asosiy materialning amortizatsiya nisbati bilan cheklangan. Bu yerda ZHHIMG ning yuqori amortizatsiya qiluvchi strukturaviy materiallar bo'yicha tajribasi juda muhim ahamiyat kasb etadi. Faol elektronikani tabiiy inert granit yoki kompozit asos bilan birlashtirish orqali biz nano-pozitsiyalash shovqinsiz amalga oshirilishi mumkin bo'lgan "Jim zona" ni ta'minlaymiz.
Ishqalanishsiz harakatning yuksalishi: Havo podshipniklari texnologiyasi
Yuqori o'tkazuvchanlikka bo'lgan talab an'anaviy mexanik podshipniklarni o'z chegaralariga olib keldi. Ishqalanish issiqlikka, issiqlik esa aniqlik dushmani bo'lgan termal kengayishga olib keladi. Bu esa keng qo'llanilishiga olib keldi.Aniq bosqichlar uchun havo o'tkazuvchanlik texnologiyasi.
Havo podshipniklari odatda bir necha mikron qalinlikdagi bosimli havoning yupqa qatlamiga yukni ko'taradi. Jismoniy aloqa bo'lmagani uchun statik ishqalanish (yopishqoqlik) nolga teng. Bu quyidagilarga imkon beradi:
-
Gisterezsiz harakat: Bosqich har safar bir xil nanometr koordinatasiga qaytishini ta'minlash.
-
Tezlikning o'zgarmasligi: Elektron nurlanish tekshiruvi kabi skanerlash dasturlari uchun juda muhim, bu yerda mexanik podshipnikning eng kichik "tishli" harakati ham tasvirni buzib ko'rsatishi mumkin.
-
Uzoq muddatli xizmat muddati: Tegishli qismlar yo'qligi sababli, aşınma va zarrachalar hosil bo'lmaydi, bu ularni 1-sinf toza xona muhitlari uchun ideal qiladi.
ZHHIMG kompaniyasida biz ushbu havo podshipniklari uchun yo'naltiruvchi yo'l bo'lib xizmat qiladigan ultra yassi granit yuzalarni ishlab chiqaramiz. To'g'ri ishlashi uchun bu yuzalar yorug'lik to'lqin uzunligining kasrlarida o'lchanadigan tekislikka qadar tekislanishi kerak.
Yarimo'tkazgichli kapital uskunalari tendentsiyalari: 2026 va undan keyingi yillar
2026-yilga o'tar ekanmiz,yarimo'tkazgichli kapital uskunalari sohasidagi tendentsiyalar"Uchta ustun" bilan tavsiflanadi: Modulyatsiya, Barqarorlik va Issiqlik Nazorati.
-
Modulli platforma dizayni: OEM ishlab chiqaruvchilari "ulab-va-ishlat" asosiy modullarini qidirmoqdalar. Har bir asbob uchun yangi asos yaratish o'rniga, ular litografiya, metrologiya yoki o'yib ishlov berish uchun moslashtirilishi mumkin bo'lgan standartlashtirilgan ZHHIMG aniqlikdagi poydevorlaridan foydalanmoqdalar.
-
Issiqlikni boshqarish: EUV (Ekstremal ultrabinafsha) yorug'lik manbalari juda katta issiqlik hosil qilganligi sababli, mashina bazasi ulkan issiqlik qabul qilgich vazifasini bajarishi kerak. Biz $<0.01^\circ\text{C}$ deltasini saqlab qolish uchun murakkab sovutish kanallarini to'g'ridan-to'g'ri mineral va granit komponentlarimizga integratsiya qilmoqdamiz.
-
Vakuum mosligi: Yuqori vakuumli muhitga ko'proq jarayonlar o'tishi bilan ishlatiladigan materiallar nol gaz chiqarishga ega bo'lishi kerak. Bizning ixtisoslashgan granit va keramik ishlov berishimiz vakuumning yaxlitligi hech qachon strukturaviy poydevor tomonidan buzilmasligini ta'minlaydi.
ZHHIMG bilan strategik hamkorlik
ZHHIMG shunchaki komponentlar ishlab chiqaruvchisi emas; biz harakatni boshqarish ta'minot zanjirida strategik sherikmiz. Xitoydagi zavodimiz sanoatdagi eng murakkab barqarorlik muammolarini hal qilish uchun Silikon vodiysi va Eyndxovendagi muhandislik guruhlari bilan yaqindan hamkorlik qiladi.
Bizning maxsus chayqash texnikamiz va chuqur tushunchamizdan foydalanish orqalitebranishlarni susturma usullari, biz mijozlarimizga Mur qonuni chegaralarini kengaytirishga imkon beramiz. Siz keyingi avlod ALD (Atom qatlamini cho'ktirish) vositasini yoki yuqori tezlikdagi plastinka zondini ishlab chiqayotgan bo'lsangiz ham, poydevor ZHHIMG dan boshlanadi.
Xulosa
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishning evolyutsiyasi fizika qonunlariga qarshi poygadir. Sanoat 2026-yilga yaqinlashib borar ekan, havo podshipniklarining aniqligi va ilg'or amortizatsiyaga e'tibor yanada kuchayadi. Ushbu tendentsiyalardan oldinda bo'lish uchun ham so'zma-so'z, ham majoziy ma'noda tajriba va innovatsiyalarga asoslangan poydevor kerak.
Joylashtirilgan vaqt: 2026-yil 26-yanvar