Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish ustaxonasida chip ishlab chiqarish jarayonining atrof-muhit sharoitlari va uskunalarning aniqligi talablari juda yuqori va har qanday kichik og'ish chip hosildorligining sezilarli darajada pasayishiga olib kelishi mumkin. XYZT aniqlikdagi portal harakat platformasi nanoskalali aniqlikka erishish uchun mustahkam poydevor yaratish maqsadida platformaning boshqa qismlari bilan hamkorlik qilish uchun granit komponentlariga tayanadi.
Ajoyib tebranish blokirovka xususiyatlari
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish ustaxonasida periferik uskunalar va atrofda yuradigan xodimlarning ishlashi tebranishga olib kelishi mumkin. Granit komponentlarining ichki tuzilishi zich va bir xil bo'lib, samarali tebranish "to'sig'i" kabi tabiiy yuqori suspenziya xususiyatlariga ega. Tashqi tebranish XYZT platformasiga uzatilganda, granit komponenti tebranish energiyasining 80% dan ortig'ini samarali ravishda susaytirishi va platforma harakatining aniqligiga tebranishning aralashuvini kamaytirishi mumkin. Shu bilan birga, platforma granit komponentlari bilan birgalikda ishlaydigan yuqori aniqlikdagi havo suzuvchi yo'naltiruvchi tizim bilan jihozlangan. Havo suzuvchi yo'naltiruvchi platformaning harakatlanuvchi qismlarining kontaktsiz osma harakatini amalga oshirish va mexanik ishqalanish natijasida yuzaga keladigan kichik tebranishni kamaytirish uchun yuqori bosimli gaz tomonidan hosil bo'lgan barqaror gaz plyonkasidan foydalanadi. Birgalikda, ikkalasi ham chip litografiyasi va o'yib ishlov berish kabi asosiy jarayonlarda platformani joylashtirish aniqligi har doim nanometr darajasida saqlanishini ta'minlaydi va tebranish natijasida yuzaga keladigan chip sxemalarining og'ishining oldini oladi.
Ajoyib termal barqarorlik
Ustaxonadagi harorat va namlikning o'zgarishi chip ishlab chiqarish uskunalarining aniqligiga katta ta'sir ko'rsatadi. Granitning issiqlik kengayish koeffitsienti juda past, odatda 5-7 × 10⁻⁶/℃ oralig'ida, harorat o'zgarganda o'lcham deyarli o'zgarmaydi. Ustaxonada kunduzgi va tungi harorat farqi yoki uskunaning issiqlik ishlab chiqarishi atrof-muhit haroratining o'zgarishiga olib kelsa ham, granit komponentlari platformaning issiqlik kengayishi va qisqarishi tufayli deformatsiyasining oldini olish uchun barqaror bo'lib qolishi mumkin. Shu bilan birga, platforma bilan jihozlangan aqlli haroratni boshqarish tizimi atrof-muhit haroratini real vaqt rejimida kuzatib boradi, konditsioner va issiqlik tarqatish uskunalarini avtomatik ravishda sozlaydi va ustaxona haroratini 20 ° C ± 1 ° C darajasida ushlab turadi. Granit issiqlik barqarorligining afzalliklari bilan birgalikda platformaning uzoq muddatli ishlashida har bir o'qning harakat aniqligi har doim chip ishlab chiqarish nanometr aniqlik standartlariga javob berishini ta'minlash, chip litografiyasi naqsh o'lchamining aniqligi va o'yib ishlangan chuqurlikning bir xil bo'lishini ta'minlash.
Toza muhit ehtiyojlarini qondirish
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish sexi chang zarralarining chipni ifloslanishiga yo'l qo'ymaslik uchun yuqori darajadagi tozalikni saqlashi kerak. Granit materialining o'zi chang hosil qilmaydi va yuzasi silliq, changni yutish oson emas. Platforma umuman tashqi changning kirishini kamaytirish uchun to'liq yopiq yoki yarim yopiq struktura dizaynini qo'llaydi. Ichki havo aylanish tizimi sexning toza konditsioner tizimi bilan bog'langan bo'lib, ichki havo tozaligi chip ishlab chiqarish uchun talab qilinadigan darajaga yetishini ta'minlaydi. Ushbu toza muhitda granit komponentlari chang eroziyasi tufayli ishlashga ta'sir qilmaydi va platformaning yuqori aniqlikdagi sensorlari va motorlari kabi asosiy komponentlari ham barqaror ishlashi mumkin, bu chip ishlab chiqarish uchun uzluksiz va ishonchli nanoskalali aniqlik kafolatini beradi va yarimo'tkazgich sanoatining yuqori jarayon darajasiga o'tishiga yordam beradi.
Nashr vaqti: 2025-yil 14-aprel